核心参数
仪器种类: 进口等离子体表面处理仪
射频频率: 13.56MHz
功率: 0~75W
设备尺寸: 450mm (W) x 250mm (H) x 430mm (D)
样品腔容积: 2.6L
样品腔材质: 石英玻璃
工作气体: 标配2路可选配三路
控制方式: 全自动
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