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核心参数
产品类别： 温控探针台
操作类型： 手动
产品简介
INSTEC HCP421V-MPS 通用迷你温控探针台真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。
功能特点
mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备，可编程控温，涵盖-190℃~400℃，适用 10 mm ~30 mm 晶圆和器件，可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用，独立的四个探针（可升级至七个臂），可从设备外部移动探针进行点针，可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK，模块化设计，可自由组合。
温控参数
• 温度范围：-190℃~400℃（负温需配液氮制冷）
• 加热块材质：银
• 传感器/温控方式：100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）
• 最大升温速率：30℃/min
• 最小温控速度：±0.01℃/min
• 温度分辨率：0.01℃ RTD传感器
• 温度稳定性：±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）
• 软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线
电学参数
• 探针：默认为铼钨材质的弯针探针
• 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂
• 点针：从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置
• 探针接口：标准BNC接头，可选三同轴接口
• 样品台面电位：标准电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口
光学参数
适用光路：反射光路
窗片：可拆卸与更替的窗片
最小物镜工作距离：12 mm
上盖窗片观察：窗片范围φ50mm，最大视角±50°
负温下窗片除霜：吹气除霜管路
结构参数
• 适用样品：30 mm
• 样品腔高：8 mm
• 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂
• 调节精度 ：10um
• 气氛控制：真空腔，也可充入保护气体
• 外壳冷却：可通循环水，以维持外壳温度在常温附近
英斯特科探针台HCP421V-MPS的工作原理介绍
探针台HCP421V-MPS的使用方法?
英斯特科HCP421V-MPS多少钱一台?
探针台HCP421V-MPS可以检测什么？
探针台HCP421V-MPS使用的注意事项？
英斯特科HCP421V-MPS的说明书有吗？
英斯特科探针台HCP421V-MPS的操作规程有吗？
英斯特科探针台HCP421V-MPS报价含票含运吗？
英斯特科HCP421V-MPS有现货吗？
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企业名称
上海恒商精密仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310105000354620
成立日期
2009-01-07
注册资本
100
经营范围
销售实验室仪器仪表设备及配件,光学仪器仪表设备及配件,科研仪器仪表设备及配件,检测设备及配件,电子产品,通讯器材,通讯设备,机电设备,机械设备,计算机软硬件及配件;从事货物和技术进出口业务;仪器仪表、检测设备领域内的技术服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海恒商精密仪器有限公司
公司地址
上海市徐汇区漕宝路400号1604室
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