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工作原理
离子迁移谱（IMS）是一种基于均匀电场中离子-分子相互作用的分析技术。该技术的主要优点是：结构紧凑、灵敏度高（ppb-ppt级）、响应速度快（毫秒范围）、常压操作和分离异构体的能力。传统的IMS仪器主要由电离区、反应区和漂移管三部分组成。
特点优势
l 晶圆厂AMC监控
l 环境空气ppb级别检测
l TA、HCl、HF、NH3、VOC
l 非放射性等离子体电离源
l 高灵敏度
l 与猎户座3100结合，可以监控45个端口
l 实时图形软件
离子迁移谱技术具有灵敏度高（ppb范围）、响应速度快（毫秒范围）、结构紧凑、可在大气压下操作以及能分离异构体等优点。在这篇简短的报告中，我们展示了使用IMS检测氯化氢（HCl）和氟化氢（HF）的灵敏度和快速响应。
HCl和HF是摩尔质量为36.46 g/mol（HCl）和20 g/mol（HF）的小分子。盐酸和氢氟酸是医药、高分子、石油化工等工业中的重要化合物。这两种化学物质在半导体工业中也很重要。在许多半导体应用中，需要在低ppb水平下监测HCl和HF的存在。
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企业名称
北京杜克泰克科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110108055585878W
成立日期
2012-10-22
注册资本
500万元
经营范围
技术开发、技术推广、技术转让、技术服务;计算机技术培训;通用设备修理;销售开发后的产品、仪器仪表、机械设备、计算机、软件及辅助设备、医疗器械I类、医疗器械II类、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品);仪器仪表制造(限分支机构经营);租赁机械设备(不含汽车租赁);货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售第三类医疗器械。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;销售第三类医疗器械以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)
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公司地址
北京市海淀区安宁庄东路8号330室
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