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核心参数
产地类别： 进口
旋转速度： /
旋转精度： /
最大加速度： /
基片直径： /
腔体直径： /
n产品简介
UNIXX HTe20型热板是一款桌面型半自动烘焙系统，用于晶圆的单面烘烤，可用于预烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底胶涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。
n产品特色
÷ 温度高达 300°C
÷ 电子驱动升降pin
÷ 支撑pin材料为不锈钢，尖端采用 PEEK 材料 (最大250°C)
÷ 程序控制支撑pin的升降（不同停止的速度和步数）
÷ 热板通过真空固定晶圆
÷ 热板盖手动控制
÷ 集成排烟装置
÷ 通过设置receip自动进行加热处理
n主要技术数据
÷ 衬底尺寸: 最大可达 ?200 mm (? 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)
÷ 温度: 最大可达 300°C, 步进1°C
÷ 温度精度: < ±1°C@100°C
÷ 支撑pin: ?50 mm (?2”) ,最大可达 ?200 mm(?8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)
÷ 热板材质: 硬质阳极氧化铝
÷ 加热盖材质: 不锈钢
n可选项
÷ 支撑pin材料
÷ 边缘支撑pin
÷ N2吹扫
÷ HMDS 热板系统（六甲基二硅胺底胶蒸汽涂覆）
÷ 600℃热板
÷ 真空泵
Osiris匀胶机UNIXX HTe20的工作原理介绍
匀胶机UNIXX HTe20的使用方法?
OsirisUNIXX HTe20多少钱一台?
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企业名称
微纳科仪（北京）科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91110105596091635X
成立日期
2014-02-24
注册资本
500
经营范围
生产，经营
微纳（香港）科技有限公司
公司地址
北京市亦庄经济技术开发区大族广场T4-504室
客服电话
公司名称： 微纳（香港）科技有限公司
公司地址： 北京市亦庄经济技术开发区大族广场T4-504室 联系人： 刘小姐 邮编： 100022 联系电话： 400-860-5168转3282
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