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核心参数
产地类别： 进口
旋转速度： 10000
旋转精度： 1
最大加速度： 4000
基片直径： 200 mm
腔体直径： 0
n产品简介
BASIXX ST20 +是一款桌面式匀胶机系统，性价比高，具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能，样品最大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片，广泛用于大学，研究所等科研实验室。
n产品特色
÷ 桌面版本的紧凑型设计
÷ 手动装载/卸载
÷ 衬底最大可达 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)
÷ 软件提供用户友好的操作
÷ 直驱旋涂电机
÷ 全轴电机驱动且完全可编程
÷ 带安全中断传感器的透明盖
÷ 可更换并易于拆卸的工艺腔和防溅环，方便清洁。
÷ 系统材料可抵抗所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。 (PP-聚丙烯)
÷ 包含 0.5 升废液瓶
n技术数据
÷ 衬底尺寸: 最大可达 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)
÷ 电机转速: 最大 10.000 rpm，步长 1 rpm
÷ 电机加速: 最大 4.000 rpm/s
÷ 步进时间: 1 至 999.9 s，步长为 0.1 s
÷ 工作腔材料: PP
÷ 系统架构材料: PP
÷ 液体线路：
3线 : 2 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞
5线: 6 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞
n选项
÷ 自动液体输送臂 ÷ 液体罐 ÷ 防溅环
÷ 废液池 ÷ DI水冲洗 ÷ N2吹扫
÷ 热板 ÷ 不同类型的夹具 ÷ 中心定位模块
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OsirisBASIXX ST20+有现货吗？
企业名称
微纳科仪（北京）科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91110105596091635X
成立日期
2014-02-24
注册资本
500
经营范围
生产，经营
微纳（香港）科技有限公司
公司地址
北京市亦庄经济技术开发区大族广场T4-504室
客服电话
公司名称： 微纳（香港）科技有限公司
公司地址： 北京市亦庄经济技术开发区大族广场T4-504室 联系人： 刘小姐 邮编： 100022 联系电话： 400-860-5168转3282
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