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核心参数
仪器种类： 原子力显微镜
产地类别： 进口
仪器类型： 工业型
定位检测噪声： 65μmX / Y
样品尺寸： 33mm x 26mm
样品台移动范围： 100mm-300mm
bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP
——紧凑型高性能剖面仪和AFM
Bruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。
·< 0.5 nm长期动态再现性
用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量
·亚纳米
CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于无与伦比的过程控制和开发
·<20nm
仿形平面度大于26mm
针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量
在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制
在高级技术节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScope®V 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。
灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。
布鲁克扫描探针 InSight CAP的工作原理介绍
扫描探针 InSight CAP的使用方法?
布鲁克 InSight CAP多少钱一台?
扫描探针 InSight CAP可以检测什么？
扫描探针 InSight CAP使用的注意事项？
布鲁克 InSight CAP的说明书有吗？
布鲁克扫描探针 InSight CAP的操作规程有吗？
布鲁克扫描探针 InSight CAP报价含票含运吗？
布鲁克 InSight CAP有现货吗？
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bruker半导体的应用
傅立叶红外技术可以快速、灵敏、无损地分析硅材料中的碳、氧含量，因此它在硅材料质量控制领域被广泛接受 和应用。布鲁克在这个前沿领域拥有和积累了几十年的经验，并结合布鲁克VERTEX 系列傅立叶红外光谱仪推出 了业内最专业和最与时俱进的完整分析方案。
半导体
2022/05/24
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bruker MultiMode 8 SPM 中文操作手册 原子力显微镜-有需要可以联系上海尔迪仪器科技有限公司
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企业名称
上海尔迪仪器科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
9131011206939727XX
成立日期
2013-06-04
注册资本
人民币1000.0000万元整
经营范围
一般项目:从事仪器仪表科技领城内的技术开发、技术咨询、技术服务
上海尔迪仪器科技有限公司
公司地址
上海市闵行中春路7001弄明谷科技园C座1003室
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