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  • 等离子蚀刻仪/等离子清洗机YAMATO PDC200/PDC210/PDC510
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等离子蚀刻仪/等离子清洗机YAMATO PDC200/PDC210/PDC510

品牌: 雅马拓
产地: 日本
型号: PDC200/PDC210/PDC510
报价: ¥60万
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产品介绍

仪器简介:

研究开发用最适合等离子清洗机

用途:

CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理

 主要特点:

RIE模式标配(DP切换为选购)
等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面



技术参数:

型号PDC200PDC210PDC510
模式RIE模式(DP选配)DP模式DP/RIE切换方式
电极构造平行平板电极(固定)
高频输出功率MAX300W                   Max 500W
频率13.56MHz
控制方式自动联动,液晶触摸屏控制
反应室尺寸400×250×150mm500×300×200
电极尺寸250×170mm400×200mm
反应室材质                                        一次性一体成型铝腔(防腐蚀,可对应CF4)
反应气体2系统(Ar/O2)
填充气体N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制流量计聚合控制器
真空泵另行选配KASHIYAMA Neodry30E(排气量500L/min)KASHIYAMA Neodry30E(排气量500L/min)
气体导入口反应气体2套,填充气体1套
外型尺寸540×600×600mm540×600×600mm700×700×700mm
电源单相AC100V 15A 50/60Hz                                         三相AC100V 15A 50/60Hz

 

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工商信息

企业名称

上海尔迪仪器科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

9131011206939727XX

成立日期

2013-06-04

注册资本

人民币1000.0000万元整

经营范围

一般项目:从事仪器仪表科技领城内的技术开发、技术咨询、技术服务

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上海尔迪仪器科技有限公司为您提供雅马拓表面处理仪PDC200/PDC210/PDC510,雅马拓PDC200/PDC210/PDC510产地为日本,属于等离子体表面处理仪,除了等离子蚀刻仪/等离子清洗机YAMATO PDC200/PDC210/PDC510的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供YAMATO 等离子灰化仪 PR300/PR301、YAMATO 台式半自动实验室器具清洗机AW47、YAMATO 超音波吸液管-移液管清洗机 AW31,尔迪仪器客服电话400-816-7838,售前、售后均可联系。
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