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半导体清洗液浓度在线监测丨ATAGO爱拓在线浓度计CM-800α
2023/12/19 09:15
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方案摘要：
产品配置单：
ATAGO（爱拓）金属加工切削液在线浓度计 CM-800α
型号： ATAGO（爱拓）在线折光仪CM-800α（切削液浓度）
产地： 日本
品牌： 爱拓
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方案详情：
清洗工艺是贯穿整个半导体制造的重要环节，是影响半导体器件性能以及良率的重要因素之一。在芯片制造过程中，任何的沾污都可能影响半导体器件的性能，甚至引起失效。因此，几乎在芯片制造的每一道工序前后，都需要进行清洗工艺，去除表面的污染物，保证晶圆表面的洁净度，尤其在抛光、刻蚀等工艺后，晶圆表面会附着一些颗粒、金属、有机物、自然氧化层等杂质。清洗剂的浓度与清洗效果有很大的关系，一般随着浓度的增加，去污能力也相应的增强，但达到一定浓度后，去污能力不再明显提高。一般浓度控制在3%-5%为宜。
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公司名称： ATAGO爱拓中国分公司
公司地址： 广州市天河区天河北路 235号广州环贸中心3501B-3502A 联系人： 市场部 邮编： 510610 联系电话： 400-860-5586
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