早在 () 年代初，中科院大连化物所在国内首 倡了用低温法实现氧和氩的色谱分离（ . /0 1）， 之后因为低温法进行色谱测定的应用局限性，在 石油化工等领域基本不用。这儿定义的“低温” 是指低于一般色谱仪常用的色谱柱的温度 #- 2 $) 1。我们于 #))! 年在实现硅、磷、砷烷全分析的 同时，开展了硼烷中的杂质和成分分析的研究， 用低温法实现了硼烷中氢和总碳（甲烷）的分析

摘要：用低温色谱法解决硼烷的分解问题，使硼烷中氢的分析成为可能。该法又能消除硼烷和四硼烷（B4H10）对氧、氮和甲烷峰测定的干扰。此方法的建立使硼烷的标准制定成为可能。

高纯硼烷在半导体工艺中是重要的掺杂剂， 它的纯度很大程度决定了半导体器件的质量。高 纯硼烷的杂质分析一直是电子气的“老大难”。根 据半导体工艺的要求，硼烷中的有害杂质主要是 指氧、水、一氧化碳、二氧化碳和甲烷等，考虑 到提纯方法和制造过程中系统泄漏而造成大气环 境中 氧 和 水 对 硼 烷 的 污 染（氧 占 ,!S，水 占 !O.S T ,S）。

只要整个硼烷制造工艺稳定， 对氢、甲烷、氧和水是必须要分析的，其中甲烷 和氢是工艺反应过程中很容易产生的；而氧和水 在工艺反应过程中不可能产生，除非系统泄露 （哪怕很少系统微漏），因泄漏而造成空气中的氧 和水与硼烷反应，则产生氢。

本文叙述高纯SiH4 中痕量杂质的转化色谱分析条件、装置及流程。通过弱极性有机担体柱有效地将PPM硅烷中级杂质与主组份分离。分离后的主组份经氢气氛下高温还原和电石转化生成烃类, 送高FID灵敏检测, 当进样量为1毫升, 记录仪为1毫伏(250毫米)时, 本试验所得灵敏度,CO.0.15vpm/min 。CH4 0.08vpm/, ,(样品直接送FDI检测灵敏度)。CO2.0.5vpm/min ,H2O 0.3vpm/min 同时,确定了较满意的分析操作参数, 提出了相应的分析流程。

作者：崔熙钟 【论文摘要】近几年来我国气体制造工业发展迅速，这种飞速发展有诸多因素，重要之一是分析检测仪器仪表的应用，保证了工艺的运行和气体产品质量。在气体分析检测中应用最多的方法是气相色谱法，使用最多的仪器仍是气相色谱仪。

硅烷中H2O2ArN2COCO2色谱检测 硅烷是一和具有化学活性的气体,暴露在空气中会自燃;报以对硅烷的进样都有一定的要求;

制备多晶硅时，用液氨法在低温下产生的硅烷，除主成份Sil 外，尚台H 、微 NH。、 sizH B、cH 、Hzo、oz、N：、PH。，以及痕量的B H 和A sH。等杂质，而其中有些杂质， 如CH．、H zO、Nz等，主要由液氨带入。因此，要加强原材料的分析，严格监控 艺过程 中硅烷气内的有害杂质，采取必要的纯化措施。这样，将大大提高由分解炉中析出的多晶硅 质量。采用气相色谱法分析硅烷及其杂质，由于它具有快速 灵敏、准确、进样量少等优点， 正逐步被人们采用。 本文主要介绍我们工作中用来分析SIH 及其CH

316不锈钢具有良好的焊接性能。可采用所有标准的焊接方法进行焊接。焊接时可根据用途，分别采用316Cb、316L或309Cb不锈钢填料棒或焊条进行焊接。为获得最佳的耐腐蚀性能，316不锈钢钢的焊接断面需要进行焊后退火处理。如果使用316L不锈钢，不需要进行焊后退火处理。

　摘要: 简介了基于中心切割和脱氧法的HE50 型DID 氦离子化放电色谱仪的工作原理和工作 条件等参数。武钢氧气公司从实际生产出发, 对色谱仪的气路流程进行了改进, 经过分析试验, 建立了一套完整的分析方法。对高纯氮气中杂质含量的测量结果显示, 该分析方法可以满足生产 需要, 从而达到准确、快速测量高纯氮气中杂质含量的目的。

:采用反吹法测定高纯氩气中大分子碳氢化合物,能够达到准确、快速测量高纯气体中 大分子碳氢化合物的目的。文章介绍了基于反吹法的FID50型色谱仪的工作原理和工作条件等参 数,阐述了该色谱仪在武钢氧气公司进行的分析试验和试验结果,以及对高纯氩样品气的测量结 果。

摘要：论述了氯离子化气相色谱仪的原理、构造以及与该仪器应j{{密切相关的多种影响囡素．同时还舟绍了谊投 嚣的广泛应用以丑在分析测试中的一些技巧，尤其是在气体工业和半导体制造工业所用化学品的分析 关键词：氦离子化；气相色谱；痕量分析

Matheson公司是美国一家著名的特种气体公司，主要生产和经营各种高纯特种气体。由美国拉马尔大学（得克萨斯州，博蒙特）化学工程系教授卡尔L.约斯（Carl L.Yaws）主编的《Matheson气体数据手册》是一本很有实用价值的气体基础数据参考书。 全书共收集了157种气体产品，除空气和MAPP气（一种丙炔和丙二烯的混合物）外，其余155种产品均为单一纯气体产品。对全部157种气体产品，作者分别以表和图的方式列示出科研、设计、生产和使用过程中所需的大量物性数据。同时，还以文字方式简述了各种气体产品的制备方法、有关设备及其材料、规格标准、主要用途、分析测试、钢瓶及配套阀门、贮存运输、化学性质、毒性及安全急救等方面的知识或信息。书末还为读者提供了内容丰富的33则附录，其中包括可用于计算全部157种气体之相关物性数据的普适回归方程式，并用表格列出适用于各种气体的不同回归系数，便于科研和设计工作者选用，因而具有较高参考价值。附录中还详细介绍了实验室和工厂内压缩气体的安全处理程序，以及不同气体泄漏钢瓶的处理方法等，为所有气体用户正确使用不同气体提供了有益的指导。 本书原文为2001年版（第七版），是迄今为止所见的最新，收集气体品种最多，具有最大适用范围的气体数据手册。 本书提供的数据和信息对有机化工、无机化工和氟化工工作者也具有较大参考价值。

摘 要 介绍r转子流量计的结构和工作原理，并对其流量特性的介质相关性及流量刻度修正方法进行了 理论分析，重点阐述了转子流量计氦气流量特性及其校准方法的特殊性。

高纯气体各项杂质的色谱分析中,氩、氧是最难分离的物质对。多年来人们在其分离上做了许多努力,或者采用室温下长柱,或者采用短柱低温。虽然达到了二者分离的目的,但大大延长了需同时分析的~-N、CH的溜出时间,相应地降低了检测灵敏度。本文研制出一种高效色谱柱

引言随着工业的不断发展，各个领域对高纯气体的品种和质量要求越来越高，如半导体微电子器件，电真空材料加工，各种金属冶炼和处理，大规模集成电路生产，色谱等精密仪器仪表用载气、零点气、标准气的制备，石油化工，环保，生化，激光，宇航等都直接或间接用到各种高纯.....

：针对高纯氩气中存在着微量氮难以分析的问题，采用脉冲放电氦离子检测器气相色谱法(简称PDHID—Gc) 测定氩气中微量氮。该方法采用六通阀进样，检测器温度250 cI二，高纯氦气做载气，氮浓度在5 p．mo1]mol一50 p~nol／mol 时，标准曲线线性良好，测定了氩气中微量氮气体标准物质GBW 06309，结果与标准值基本一致，表明该方法操作简 便、准确度高。 关键词：气相色谱；氩

：通过实验论述了气质联用在气体分析中的应用，对硫化氢、氧硫化碳气体的线性、灵敏度和数据重复性 进行了考察，探讨了气质联用仪用于气体定量分析的可靠性，并给出了其它气体的色谱分析条件及谱图。 关键词：气质联用；气体分析；硫化物；毛细柱；谱图 中图分类号：TH83 文献标识码：B 文

使用高灵敏度的脉冲氦离子化检测器（PDHID）气相色谱法对Kr、Xe浓度进行定量分析，并通过采用反应床除去杂质气体或与Kr、Xe难以分离的干扰组分N2、CH4和CO等，可使最低检测限达到Kr为7．931×10^-8、Xe为7．186×10^-8．对Kr的测量相对偏差在2％以内，对Xe的测量相对偏差在6％以内．

摘要：用低温色谱法解决硼烷的分解问题，使硼烷中氢的分析成为可能。该法又能消除硼烷和四硼烷（B4H10）对氧、氮和甲烷峰测定的干扰。此方法的建立使硼烷的标准制定成为可能。

创新点1.优秀的大柱箱低温控性能 ,专适用于气体分析; 2.国内最高精度的阀切换时钟控制功能, 阀切换重复性最佳; 3.电路专为Valco公司PDHID氦离子检测器设计,灵敏度检测限最佳优化; 4.系统阀流程采用克柔姆最专业的前、中、后切割技术,流量可控; 5.分离柱为本公司最新研发产品,分离性能优异,重复性好,出峰灵敏度高; 6.外柱箱一体化,公司专利技术,可分离与嵌入式组合,控温精度高维护方便; 7.标气稀释装置公司专利技术, 可配PPB级标准气,确保组份定量的准确性; 8.核心部件采用VICI公司的脉冲氦离子化检测器,配套后检测限可10PPB; 9.气路管线、接头采用VICI标准件,确保气密性最佳,有效防止空气渗入; 10.系统采用最先进的反控工作站,可双向通讯;操作人性化,自动化程度高;

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体之一,其组分及混合气体可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。国外主要发达国家都有高纯四氟化碳的生产。随着我国半导体电子工业的迅速发展,四氟化碳的年使用量超过300万t,并逐年增加,这就带来了四氟化碳产品的质量检测问题。建立一种简便快捷、准确度高的检测四氟化碳产品的方法,以满足四氟化碳的迅速发展。高纯四氟化碳产品中的H2、O2、N2、CO2、C2F6、SF6指标是其重要杂质指标之一,对这几种杂质进行检测是进行产品分析的基础,也是四氟化碳产品等级判定的基础。如果在产品检测时能够同时将以上杂质组分定量分析,将大大提高产品分析的效率。据此本文通过查阅相关资料,结合对气体分析的经验,开展了高纯四氟化碳产品中的H2、O2、N2、CO2、C2F6、SF6杂质的同时检测方法的研究。1试验方法1·1方法简述气相色谱法是一种常用的气体分析方法之一,它具有简便快捷、灵敏度高等优点,对于气态样品的检测