Versia-2轴激光扫描振镜

规格

MOVIA-2D-10 mm

  镜片通光孔径

  10mm

  扫描类型

  矢量扫描

  扫描角度

  ±20°

  光束位移

  12.05 mm

  步进响应时间(全角度1%)

  <210μs

  常规打标速度

  3m/s （使用160mm F-Theta镜头）

  常规定位速度

  16m/s

  重复精度

  <3.5 μrad

  跟随误差

  <130μs

  线性度

  >99.9%（在20°扫描范围内）

  波长选项+最大功率

     CO₂激光 :9.2-10.6μm最高125W；光纤激光：1040-1090nm最高125W

  绿光：532nm|请与厂家确认  紫外：353-357nm|请与厂家确认

  增益误差

  <5 mrad

  零点漂移

  <5 mrad

  长时间漂移

  <100 μrad

  长时间比例漂移

  <150 ppm （30分钟预热后，24小时运行，单轴）

  温度偏差漂移

  <20 urad/*c

  温度比例漂移

  <20 ppm/℃

  指令比特率

  16位

   通信接口

  XY2-100

    IP等级

  IP50

  电源需求

  ±15V,3A RMS

  工作温度

  15°℃-35*℃

   重量(近似值)

  1.5kg

  尺 寸 ( L x W x H）

  114mmx94mmx86mm

规格

Versia-2D-14 mm

  镜片通光孔径

  14mm

  扫描类型

  矢量扫描

  扫描角度

  ±21°

  重复精度

  <2 μrad

  长时间漂移

  <25 μrad

  长时间比例漂移

  <40 ppm （30分钟预热后，24小时运行，单轴）

  温度偏差漂移

  <10 urad//℃

  温度比例漂移

  <10 ppm/℃

  波长选项+最大功率

  CO₂激光 :9.2-10.6μm最高200W；光纤激光：1040-1090nm最高200W

绿光：532nm|请与厂家确认  紫外：353-357nm|请与厂家确认

指令比特率

16 bit(XY2-100); 20 bit (NVL-100)

 通信接口

XY2-100； NVL-100

 IP 等级

  IP54

  电源需求

  48V,5A RMS

  工作温度

  15°℃-40 ℃

   重量(近似值)

  2.12kg

  尺 寸 ( L x W x H）

  99mmx99mmx132.20mm

  优化举例

  激光微加工-OLED面板

  步进响应时间(全角度1%)

  400μs

  最大速度

  > 80rad/s

  循迹误差

  <230μs

型号:Lightning II 2D

14 mm

20 mm

25 mm

30 mm

镜片通光孔径

14 mm

20 mm

25 mm

30 mm

扫描角度

±22°

±20°

±17°

±20°

步进响应时间

0.36 ms

0.37 ms

0.36 ms

0.55 ms

常规工作速度

50 rad/s

50 rad/s

50 rad/s

50 rad/s

波长选项

355nm/532nm/1030-1080nm/9.4-10.6μm;宽带:350nm-12μm

重复性

<1 μrad

抖动

<1 μrad

长时间漂移

10 μrad

温度漂移

2  μrad/℃

线性度

99.9%

定位分辨率

24-bit

数字通讯接口

GSBus or XY2-100

状态信号反馈

Status Signals Position Acknowledge,System Ready

指令分辨率

24-bit(GSB)or 16-bit(XY2-100)

水冷温度

20.0 ℃±2.5℃

冷却水需求

蒸馏水，含缓蚀剂，如Optishield Plus或同等产品

电源需求

+15V to +48V DC,3A RMS each,6A peak

工作温度

15°℃ to 35℃