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核心参数
仪器种类： 管式炉
产地类别： 国产
最高温度： 1200℃
控温精度： ±1℃
最大功率： 1.2KW
升温速度（达到最高温）： 1200℃
加热方式： 国产程序控温系统50段程序控温
内部尺寸： 340x580x555mm
产品应用：
PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
产品组成：
PECVD系统配置：
1.1200度开启式双温区真空管式炉
2.滑动系统分为手动、电动滑动，并配置管内测温系统。
3.预加热开启式管式电炉
4.等离子射频电源
5.多路质量流量控制系统
6.真空系统（可选配中真空或高真空）
产品特点：
生长温度低；沉积速率快；成膜质量好，适用范围广，设备简单。
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企业名称
天津中环电炉股份有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
120113000025275
成立日期
1998-10-15
注册资本
200
经营范围
实验电炉、实验室仪器制造;实验室分析仪器制造;工业电炉;机械设备;电气、仪器设备维修;机械加工;机电产品;钢材经营;玻璃仪器;五金交电批发零售;钢材销售;软件开发;技术推广服务;从事国家法律、法规允许经营的进出口业务;开关柜、电器开关、防雷产品、应急电源柜设备制造;机电设备安装;电气火灾监控系统设备生产、销售;计算机、软硬件的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让;操作系统软件及应用软件的销售。(以上经营范围涉及行业许可的凭许可证件,在有效期限内经营,国家有专项专营规定的按规定办理)(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
天津中环电炉股份有限公司
公司地址
天津市北辰经济开发区双川道11号
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