CS200（A）数字式气体质量流量控制器

产品类型

高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰

流量量程

5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,

                    1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm

产品精度

±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35%   F.S.)

重复精度

±0.2% FS

线性

±0.5% F.S.

响应时间

≤1sec

工作温度范围

(5~45)°C

耐压

3MPa

密封材料

氟橡胶Viton

输入输出信号

(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus

电源

±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14   ~ +28 VDC

阀类型

常开(流量量程≤30slm)或常闭

温度系数

零点: ≤±0.05% F.S/℃；

调节时: ≤±0.1% F.S/℃  流量规格≤30SLM

                        调节时: ≤±0.2% F.S/℃  流量规格＞30SLM

零点飘移指标

＜0.6%F.S. per year without   autozero

电气连接

Profibus,D sub 15 pins   Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

工作压差范围

(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.）

漏率

1×10-10 Pa?m3 / sec He

标准接头形式

双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套1/8”(满量程≤5slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4”

表面化学成分

- 无 -

表面粗糙度

25μinch

抗电磁干扰

CE

重量

1Kg