写真化学膜厚测量装置
标准型号可测量膜厚对象:
抗蚀剂厚度
多孔膜
ITO
多晶硅
电池电极
玻璃粘合晶片
端点检测
贴合晶片等
自动映射膜厚仪
可测量膜厚对象:
抗蚀剂厚度
贴合晶片
多孔膜
ITO
多晶硅
电池电极
玻璃粘合晶片
带图案晶片等
分为:标准型号、红外透射式型号、自动映射膜厚仪、成像膜厚仪
通用型膜厚监视器(标准型号)
● 可用作端点监视器
● 也可以对应粘接剂层、玻璃层等通常较难测量的材料
通用型膜厚监视器(红外透射式型号)
● 对应反射弱的薄膜材料
● 可对应卷对卷测量
自动映射膜厚仪
● 除了高速自动映射、等高线、3D图显示之外,还自动解析直方图等统计信息
● 标准对应φ100~300mm的圆形晶圆,也可对应方形被测物等特殊形状,可选配定制载物台板
● 可对应选配项目中的自动校准
成像膜厚仪
● 微细二维膜厚分布原位的可视化
● 通过在GUI上区域,计算微小区域的膜厚
写真化学其它测厚仪反射型/透射型的工作原理介绍
其它测厚仪反射型/透射型的使用方法?
写真化学反射型/透射型多少钱一台?
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企业名称
上海首立实业有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
913101167605761093
成立日期
2004-03-23
注册资本
人民币500.0000万元整
经营范围
仪器仪表,电子产品,化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品),机械设备,塑料制品,玻璃制品,环保设备,家用电器,照相器材,钢材,建筑装饰材料,通信设备及相关产品,办公文化用品,计算机、软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品),日用百货,服装鞋帽销售,从事货物进口及技术进口业务,从事计算机信息科技领域内技术开发、技术咨询、技术服务(除互联网信息服务),计算机软件开发,设计制作各类广告,商务信息咨询(除经纪)。[依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
上海首立实业有限公司
公司地址
上海市闵行区古美路1471号华城广场307室
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