2017/09/06 14:11
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产品配置单:
TESCAN RISE电镜拉曼一体化显微镜
型号: RISE Microscope
产地: 捷克
品牌: 泰思肯
¥500万 - 700万
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方案详情:
如下图,用SEM-FIB双束电镜在硅表面进行图形加工。由于Ga+离子的注入效应、热效应等会使加工区域的硅产生一定程度上的非晶化。
仅凭形貌是无法知道非晶化程度的,而在此区域用RISE进行拉曼面扫描,并用每一个测试点的Si的特征拉曼峰的半高宽为依据进行RISE成像,红色区域为半高宽较窄,蓝色区域为半高宽较宽。由此形成的RISE图像,对于研究FIB加工产生的非晶化一目了然。
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