核心参数
仪器种类: 落地式/传统大型
电子枪种类: 热场发射
产地类别: 进口
二次电子图象分辨率: 0.9 nm @ 15 kV
放大倍数: 2-2,000,000 倍
加速电压: 200 V - 30 kV (减速模式下可低至 50V)
背散射电子图像分辨率: 2.0 nm @ 30 kV(低真空模式)
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