电子枪电源

日本ULVAC公司经多年的技术经验的积累,研制开发HPS-N系列电子束蒸发电源.和电子枪控制器单元,

整体电路运行稳定而安全.抗干扰能力强.可同时对应光学膜及金属膜.

 B EB Power Generator(电子枪电源)

  1 不需用冷却水冷却.

采用强制空冷方式,不需要冷却水.

  2 高可靠性

通过安装的整机设备后实际使用效果反馈总结.

  3 高速异常放电遮断重启功能.

采用半导体控制开关.针对异常放电,具有快速遮断,重启,.

起到保护电源的功能.可并保证蒸发工艺维持稳定而高速.

用途:

金属膜,LED电极,配线膜等真空蒸镀.

光学膜TiO2,ZrO2,Ta2O5,防反射膜,绝缘膜,功能膜SiOx,阻隔膜SiN,栅介质AL2O3,

透明导电ITO,ZnO膜的真空蒸镀..

参数:

型号        HPS-600N    HPS-1000N

相数,频率   三相 50/60Hz   〃

输   输入电压    AC200～220V   〃

入   变动范围    AC190～231V   〃

规  输入  一源    9.0kVA以下   14.0kVA以下

格  容量  两源    10.0kVA以下   15.0kVA以下

漏溢电流     各相5mA以内   〃

额定输 一源    6kW     10kW

出电力 两源    6kW(两源合计)  10kW(两源合计)

输  高压  可调范围   -2kV～-6kV   -4kV～-10kV

出  输出  稳定率   ±1%以内    〃

规  电压  脉动率   ±2%p-p以内(在各个额定输出)

格  Beam  可调范围   0～1000mA   0～1000mA

电流  变动率   ±2%以内(在各个额定输出)

灯丝用 电压    0～6V/12VAC   〃

输出  电流    0A～45Amax   〃

高压  动作方式     半导体元件开关方式

闪断  高压闪断时间    1ms以内(机械性断路约1秒断高压)

保护  休止时间     10ms以内    〃

高压启动时间    1ms以内(额定20%至80%)

冷却方式       强制风冷.  〃

外形尺寸       494mmW x 701mmD x 712mmH

上记尺寸不含按键,接口等突起部份

重量        115kg    120kg