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核心参数
产地类别： 进口
衬底尺寸： 50 – 200 mm /单片
工艺温度： 50 – 500 °C, 450 °C（加等离子）
前驱体数： 6根独立源管线，最多加载12个前驱体源（加上plasma管路共7根独立源管线）
重量： 350kg
尺寸(W x H x D)： 146 cm x 146 cm x 84 cm（小）
均匀性： >99%
PICOSUN® R-200高级型ALD系统适用于数十种应用领域的研发，如IC组件、MEMS器件、显示器、LEDs、激光器，以及3D物品，如透镜、光学器件、首饰、硬币和医用植入物。
底尺寸和类型 | 50 – 200 mm /单片 156 mm x 156 mm 太阳能硅片 3D 复杂表面衬底（使用Showerhead喷洒淋浴模式效果更佳） 粉末与颗粒（配备扩散增强器） 多孔，通孔，高深宽比（HAR）样品 |
工艺温度 | 50 – 500 °C, 450 °C（加等离子） |
基片传送选件 | 气动升降（手动装载） 预真空室安装磁力操作机械手（Load lock ） |
前驱体 | 液态、固态、气态、臭氧源、等离子体 6根独立源管线，最多加载12个前驱体源（加上plasma管路共7根独立源管线） |
重量 | 350kg |
尺寸（ W x H x D)） | 146 cm x 146 cm x 84 cm（小） 189 cm x 206 cm x 111 cm（大） |
选件 | PICOFLOW™扩散增强器，集成椭偏仪，QCM， RGA，N2发生器，尾气处理器，定制设计，手套箱集 成（用于惰性气体下装载）。 |
工艺 | Al2O3, TiO2, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, ZrO2,AlN, TiN，金属如Pt或Ir |
企业名称
北京正通远恒科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105001988017
成立日期
2001-03-09
注册资本
30
经营范围
科技产品的技术开发、技术培训、技术服务、技术咨询;信息咨询(不含中介服务);市场调研;财务咨询;零售仪器仪表、机械设备、电器设备、化工产品(不含一类易制毒化学品)、建筑材料、五金交电、计算机及配件、百货;承办展览展示;组织文化艺术交流。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京正通远恒科技有限公司
公司地址
北京市朝阳区胜古中路2号院7号楼A座611室
客服电话
公司名称： 北京正通远恒科技有限公司
公司地址： 北京市朝阳区胜古中路2号院7号楼A座611室 联系人： 邮编： 100029 联系电话： 400-860-5168转0338
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