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波长色散型X射线荧光光谱仪测定硅石主次量成分
2022/02/14 13:46
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方案摘要：
产品配置单：
ARL Perform’X 波长色散荧光光谱仪
型号： ARL Perform’X
产地： 瑞士
品牌： 赛默飞
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赛默飞 ARL QUANT'X 能量色散X荧光光谱仪
型号： ARL QUANT'X
产地： 瑞士
品牌： 赛默飞
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ARL EQUINOX 100便携台式X射线衍射仪
型号： ARL EQUINOX 100
产地： 法国
品牌： 赛默飞
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赛默飞 ARL iSpark Plus 光电直读光谱仪
型号： ARL iSpark Plus
产地： 瑞士
品牌： 赛默飞
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方案详情：
ARL PERFORM’X荧光光谱仪拥有很高的分析准确度，能够很轻松的胜任硅石中各控制元素的含量分析。利用GonioTM测角仪分析硅石的总计数时间只需2～3分钟，SiO2短期重复性测试极差小于0.1%，完全可以满足对生产投料的误差要求。如果需要更好的分析结果，可以适当增加计数时间，提高分析结果的稳定性。
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Nexsa G2小束斑+特色SnapMap快照成像功能分析SnOₓ成分半导体器件
近几年来，随着国内科技产业的不断升级，对微电子器件的需求日益增加。特别是高科技产品的快速发展，比如智能手机、电脑、无人机、新能源汽车、智能机器人等，对高性能微电子器件的需求更是呈指数级增长，这使得微电子器件自然而然就成为人们研究的热点材料。在微电子器件的研究中，通常需要对微电子器件表面进行各种加工、改性处理，来使其具有不同的性能。由于X射线光电子能谱仪（XPS）是一种表面分析技术，随着商业化XPS设备的普及，其在微电子器件研究中的应用越来越广泛，逐渐成为微电子器件研究中不可或缺的分析手段。 本方案通过赛默飞最新一代XPS表面分析平台Nexsa G2，对半导体器件表面形成的窄条形SnOx成分进行小束斑+特色SnapMap快照成像测试，展示如何通过设备小束斑+成像功能，快速全面分析这类特殊小尺寸半导体器件表面成分及其在面内分布情况，来辅助评估表面处理效果及器件质量。
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2022/02/14
公司名称： 赛默飞世尔科技元素分析(Elemental)
公司地址： 北京市东城区安定门东大街28号雍和大厦西楼F座7层 联系人： 王江黎 邮编： 100007 联系电话： 400-803-2776
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