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核心参数
产地类别： 进口
脉冲激光沉积（PLD）是用于薄膜沉积的通用工艺设备，它主要的优点是可以将特定化学计量比的靶材组分转移到衬底。SURFACE公司的PLD-Workstation是用于薄膜沉积的优秀研发设备，利于探索新材料尤其是高级氧化物。
PLD-Workstation将PLD设备中的所有部件包括准分子激光器和激光气体集成到一个简单的框架内。紧凑的设计确保设备使用灵活，避免了许多安装工作，具有极强的通用性，没有PLD经验的用户也可以轻易上手。
PLD-Workstation
PLD-Workstation将先进的沉积技术融入到功能强大而紧凑的设备中-应用广泛。
全封闭激光光路，从外部调整反射镜等，避免使用者暴露在紫外激光中
准分子激光器和激光气体与外部排气管道相连
真空腔室- 结构灵活
真空腔室专为科研而设计，多个备用法兰用于常规的原位分析工具或系统扩展
光学分析OES 或FTIR
RHEED
质谱仪
其他沉积源或等离子体源
羽辉控制- 强大的自动化平台
SURFACE 的PLD 设备自动控制整个沉积工艺，设备操作简单
基于Windows 操作系统下LabView 程序编写的PLD 控制软件
多个工艺步骤可合并到一个沉积程序中
直观的工艺过程可视化操作，高度灵活的数据记录和导出，优异的自我测试能力
客户支持
SURFWARE 软件- 先进的客户支持工具
快速联系到SURFACE 支持团队
SURFACE 支持工程师可以远程控制PLD 设备，并提供视听支持
快速解决硬件问题和客户的工艺编程问题
软件自动升级
规格
| 准分子激光器 | Coherent COMPexPro 201F or 205F |
| 波长 | 248 nm |
| 激光气体 | 20 l 预混气体，10 l 氦气 |
| 工艺气体 | 2x MFC 通道 |
| 衬底加热器 | 2”850 ℃ 或1000 ℃ 1”或3”可选 |
| 衬底转速 | 0-50 RPM |
| 靶台 | 4x2”靶，转速0-50 PRM |
| 控制系统 | 基于电脑控制，集成的TFT 显示器 |
| IT 特色 | 局域网连接，SURFWARE 支持软件 |
| 设备尺寸 | 约 2200x850x1600 mm |
| 供电 | 3x400 VAC/50 Hz 或3x208 VAC/60 Hz |
| 水冷 | 含水冷机 |
SurfaceTech外延系统PLD-Workstation的工作原理介绍
外延系统PLD-Workstation的使用方法?
SurfaceTechPLD-Workstation多少钱一台?
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外延系统PLD-Workstation使用的注意事项？
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SurfaceTech外延系统PLD-Workstation的操作规程有吗？
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企业名称
北京汇德信科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108000407037
成立日期
1999-05-07
注册资本
200
经营范围
科技产品的技术开发、技术咨询、技术服务、技术培训;经济信息咨询服务;劳务服务;组织文化艺术交流活动;企业形象策划;机械设备维修;销售机械设备、电器设备、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、五金交电、百货、仪器仪表、电子计算机及软件、汽车配件、工艺美术品、木材、金属材料、建筑材料、装饰材料;货物进出口、技术进出口、代理进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京汇德信科技有限公司
公司地址
北京海淀区西三旗建材城中路12号1幢平房118
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