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【技术参数】
样品室玻璃腔体尺寸 | 120mm ? x 120mm H，高强度不锈钢结构（可选150mm x 165mm） |
样品台尺寸 | 可放置12个标准钉形样品台，高度可在 60mm内调节 |
溅射头 | 低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩 |
溅射靶材 | 金（标配），铂，金/钯，铂/钯, 银等 |
靶材尺寸 | 直径57mm x 0.1mm 厚度 |
溅射控制系统 | 微处理器控制，远程电流/电压感应；最大电流40mA，程序化数字控制； 提供真空安全联锁装置，配有过流保护； |
模拟计量 | 真空 Atm - 0.001mb 电流: 0 – 50mA |
控制方式 | 自动气体换气和放气功能，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s） |
机械泵 | 2L/s |
工作媒介气体 | 氩气，纯度最低99.9% |
工作电压 | 220V, 50/60HZ |
膜厚监控仪（选配） | 通过6MHz石英晶体进行原位监控，显示纳米级厚度，可精确到0.1nm |
适用配套 | Zeiss, JEOL, Hitachi, FEI, Tescan, Phenom等扫描电镜 |
【产品详情】
Agar 全自动喷金仪（离子溅射仪）为英国进口设备，操作简单，适用于扫描电镜样品制备，可喷金、铂、金/钯、铂/钯、银等。
喷金仪使用小贴士：
1）需要溅射喷金的样品
a)第一类样品是电子束敏感的样品，主要包括生物样品，塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤；
b)另一类样品是非导电的样品，由于样品不导电，其表面带有“电子陷阱”，这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应，可在样品表面镀一层金属导电层，镀层作为一个导电通道，将充电电子从材料表面转移走，消除荷电效应。在扫描电镜成像时，溅射材料可以增加信噪比，从而获得更好的成像质量。
2)溅射材料
常用的溅射材料为金，导电性高。
喷金仪的真空度越高，所溅射的金属颗粒越小，可以减少样品表面形貌失真的情况。当需要超高分辨率成像时，首选高真空喷金仪，同时还可以选用其他溅射材料，如：铬，铱等，溅射的晶粒更细小。
此外，如果需要做EDS能谱分析的话，建议选择喷碳仪，因碳的X射线峰不会与其他元素的峰值发生冲突。
产品详细价格及资料，请登录电镜耗材在线商城网站查看。
企业名称
牛津仪器科技（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310000400824735
成立日期
2017-03-29
注册资本
50
经营范围
精密仪器和设备的技术开发、技术服务、技术转让和技术咨询,精密仪器和设备的批发、进出口,佣金代理(拍卖除外),并提供维修服务和相关配套服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
牛津仪器科技（上海）有限公司
公司地址
上海市徐汇区虹漕路461号虹钦园60号楼1楼
客服电话
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