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拉曼应用分享 | 碳化硅（SiC）晶圆全表面晶体多晶型拉曼成像
2026/06/09 14:23
阅读：47
400-099-8121
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方案摘要：
SiC具有多晶型现象，可通过拉曼光谱进行鉴定。借助RAMANdrive的晶圆专用样品台，可对晶圆中
存在的多晶型进行全面拉曼成像。RAMANdrive可将该样品台移动至晶圆上的任一坐标，从而能够
清晰地展示整个晶圆上多晶型分布的3D可视化。
产品配置单：
分析仪器
RAMANdrive拉曼显微镜
型号： Nanophoton RAMANdrive
产地： 德国
品牌： 布鲁克
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方案详情：
借助先进拉曼成像技术，帮助您进行碳化硅（SiC）晶圆中多晶型分析！我们最新的应用说明_R548碳化硅（SiC）晶圆全表面晶体多晶型拉曼成像重点展示了RAMANdrive显微镜如何实现全表面的3D成像，以亚微米级精度解析晶体多晶型、应力分布与缺陷情况。
探索这项创新技术如何助力研发适用于恶劣的环境的高可靠性宽禁带半导体器件。阅读更多，发掘其在碳化硅（SiC）晶圆分析领域的变革性潜力。
RAMANdrive 是一款专为晶圆分析设计的超快速、高分辨共聚焦拉曼显微镜，它配备了 300 mm 专属载物台，确保在整个晶圆范围内实现卓越的稳定性与精确度。
RAMANdrive 搭载先进的快速拉曼显微技术，专为推动半导体研发突破而设计，加速创新进程。
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