全光谱椭圆偏振测厚仪(椭偏仪)
全光谱椭圆偏振测厚仪(椭偏仪)

¥30万 - 50万

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致东光电

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SE950

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中国大陆

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核心参数

产地类别: 国产

全光谱椭圆偏振测厚仪仪,为R&D和QC提供各种功能材料的光学常数测量及光谱特性数据分析,速度快,精度高 

SE950 核心参数

波长范围:220~950nm测量准确度:Tan(psi)≤0.01,cos(delta)≤0.01标准片 at 633nm)
重复性:膜厚重复性<(1 sigma,5 times) 0.2nm基于110nm标准片 



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