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简介:TEM样品制备在电子显微学研究工作 中,起着至关重要的作用,是非常精细的技 术工作。 要想得到好的TEM结果,首先要制备出好的薄膜样品, TEM样品制备在电子显微学研究中起着非常重要的作用。 传统的常规制备方法很多,例如:化学减薄、电解双
简介:TEM样品制备在电子显微学研究工作 中,起着至关重要的作用,是非常精细的技 术工作。 要想得到好的TEM结果,首先要制备出好的薄膜样品, TEM样品制备在电子显微学研究中起着非常重要的作用。 传统的常规制备方法很多,例如:化学减薄、电解双喷、 解理、超薄切片、粉碎研磨、聚焦离子束、机械减薄、离子减 薄,这些方法都能制备出较好的薄膜样品。 目前新材料的发展日新月异,给样品制备提出了更高的要 求。样品制备的发展方向应该是制备时间更短,电子穿透面积 更大,薄区的厚度更薄,高度局域减薄。 TEM样品类型 块状:用于普通微结构研究 平面:用于薄膜和表面附近微结构研究 横截面样品:均匀薄膜和界面的微结构研究 小块物体:粉末,纤维,纳米量级的材料
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