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通过低能离子减薄仪制样方法提高透射电镜TEM分辨率

简介:新一代SEM(扫描电镜)、TEM(透射电镜)、XTEM(X透射电镜)和FIB(聚焦离子束)样品制备设备:低能离子减薄仪! 常规的离子减薄仪离子源能量较大,非常容易破坏样品的微观结构,而且很难看到材料真实的自然状态下的纳米结构; 而该设备采用低能离子源,在有效避免样品的微观结构被损伤的基础上,大大提高了电镜图片的清晰度,进而可以更为清楚的将材料自然状态下的微观结构展现出来。
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