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同时用激光束来补偿位置的偏移。激光工件台以平面镜激光干涉仪作为整个系统的测量基准,主要有光栅扫描和矢量扫描两种...包括了加工精度、拼接精度和套刻精度,主要通过结合激光干涉仪来实现。目前,我国电子束曝光机严重依赖进口,但国外已...
2020-11-06 09:59:35
头发分成6000万份后还能看清……科学仪器触摸到人力不可及的角落。激光干涉仪可以检测几亿光年外黑洞运行中产生的引力波;电子显微镜可以重构分子和原子级别的真实...
2020-11-04 12:54:38