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椭偏仪（Ellipsometer）是一种基于椭偏态的物理现象来测量薄膜或表面材料光学性质的仪器。它通过分析被样品反射和透射的光线的极化状态，测量出样品的折射率、厚度、粗糙度、吸收率等关键参数，对于研究薄膜生长、光学薄膜、半导体器件等领域有着广泛的应用。 具体来说，椭偏仪会向样品表面发送一个特定偏振方向的光，并同时测量被反射和透射的光线的偏振情况，这些信息可以表示为一个复数或椭圆的形式。通过分析这些复数参数，可以推断出样品的光学性质。通常情况下，椭偏仪需要进行定标，以确保测量精度和可靠性。
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