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光标记装置是一种用于制造半导体器件和显示器件的先进工艺设备。它利用激光束通过对半导体表面进行扫描,实现微米级别的图形定义和制造。该技术可以使得制造出来的器件具有更高的精度、更好的性能以及更小的尺寸。 在光标记装置的操作过程中,首先需要设计出要制造的器件的图案,然后将该图案转换成数字格式,接着利用激光打印机将数字信息转化为实际的图案,最终通过对半导体材料进行化学蚀刻,制造出所需的器件。 光标记装置广泛应用于半导体、显示器、光电子等领域,其优点是制造精度高、可重复性好、生产效率高等。
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