探针式轮廓仪Alpha-Step® D-600（台阶仪）

Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D和3D测量，以及2D翘曲度和应力。创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。

探针接触式测量技术的优点是可以进行接触式直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。该探针测量选项能够对您的工艺进行量化，以确定添加或去除的材料量，并通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。

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 功能

• 台阶高度：纳米级到 1200 微米

• 微力：0.03 至 15 mg

• 视频：5MP高分辨率彩色相机

• 梯形失真校正：可消除侧视视图造成的失真

• 弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差

• 小巧的尺寸：系统占用体积小

• 软件：用户友好的软件界面

 应用

• 台阶高度：2D和3D台阶高度

• 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

• 形状：2D和3D翘曲、形状

• 应力：2D薄膜应力

 工业

• 高校、实验室和研究所

• 半导体和化合物半导体

• LED：发光二极管

• 太阳能板

• MEMS：微机电系统

• 汽车

• 医疗设备

• 更多信息：请联系我们并告诉我们您的需求

主要应用

台阶高度

Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量几纳米到 1200 微米高的2D和3D台阶。这能够对蚀刻、溅射、沉积、旋涂、化学机械研磨和其他工艺等沉积或去除的材料厚度进行量化。Alpha-Step系列能够提供微力测量，可以测量软材料，例如光刻胶

纹理：粗糙度和波纹度

Alpha-Step D-600 测量2D和3D纹理、量化样品的粗糙度和波纹度。软件中的过滤器将测量结果分为粗糙度和波纹度两部分，并计算出均方根、粗糙度等参数。

形状：翘曲和形貌

Alpha-Step D-600 可以测量样品表面的2D形貌或翘曲度。这包括元件制造过程中不同工艺层材料不匹配导致的晶圆表面翘曲度的测量，例如半导体或化合物半导体器件生产中的多层沉积。D-600 还可以测量弯曲结构（例如透镜）的高度和曲率半径。

应力：2D薄膜的应力

Alpha-Step D-600 能够测量在生产具有多个工艺层的器件（例如半导体或化合物半导体器件）期间产生的应力。使用应力载台将样品支撑在中间位置以精确测量样品的翘曲度。应力是先测量诸如薄膜沉积等工艺导致的晶圆表面形貌变化，然后运用Stoney公式计算得到的。