bruker布鲁克台阶仪Dektak XTL

报价

¥70万 - 100万

暂无评分

品牌

布鲁克

样本

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型号

Dektak XTL

荣誉奖项

产地

欧洲

上海尔迪仪器科技有限公司

白金
第11年
一般经销商

营业执照已审核

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核心参数

产地类别： 进口

测量原理： 电容式

测量范围： 二维表面轮廓测量可选三维测量

精度： 0.5%

探针尖半径： 50nm 至 25μm

探针作用力： 0.3-15mg

扫描长度： 55um

台阶高度重复性： 5Å, 1σ 在 1μ m 台阶上

垂直方向分辨率： 最大 1Å ( 6.55μ m 垂直范围下)

测量样品最大尺寸： 300mm

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Dektak XTL™ 探针式轮廓仪可容纳高达 350mm x 350mm 的样品，为大型晶圆和面板制造带来Dektak ®传奇的可重复性。Dektak XTL 具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计，具有易用的联锁门，是当今苛刻的生产车间环境的的理想之选。其双摄像头架构可增强空间感知能力，其高自动化水平可大限度地提高测试通量。

增强的软件功能使 Dektak XTL 成为功能强大、容易使用的探针式轮廓仪。该系统利用 Vision64 软件，通过数百种内置分析工具实现众多的测量位点、3D成像和高度自定义的特征分析。Vision64软件还能测量形状，如曲率半径。模式识别可大限度地减少操作员误差并提高测量位置精度。集成化的软件包将数据收集和分析与直观的工作流程相结合。

Dektak XTL 以 50 多年的探针式轮廓仪的专业知识和生产设施的应用程序定制为基础，以满足当今和未来严格的行业路线图。300 毫米高精度编码 XY样品台为制造商提供了满足严格计量研发要求的可靠工具。Dektak 的双摄像头控制与高清放大双视场相机提供增强的空间感知。实时视频中的点击定位使操作员能够快速将样品移动到正确的位置，以便快速轻松地进行测量设置和自动化编程。该系统的大型联锁门为样品装载/卸载提供了安全、方便的访问。

其他硬件功能包括：

单拱形架构和集成振动隔离系统
快速更换自对齐探针
高精度编码 XY 样品台，实现更快的自动数据收集
N-Lite 低力，采用软触控技术，具有 1mm 测量范围，可同时用于测量精密和高垂直范围样品

xtl规格.jpg

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