产地类别: 国产
测量范围: 电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)
探针作用力: 1-50mg可调
扫描长度: 55mm
台阶高度重复性: 5 Å, 量程为330μm时/ 10 Å, 量程为1mm时 (测量1μm台阶高度,1δ)
垂直方向分辨率: 分辨力<0.01 Å(档位为13μm时)
测量样品最大尺寸: 150mm(6吋),200mm(8吋)
看了台阶仪的用户又看了
CP200国产台阶仪品牌可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。台阶仪对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求,样品适应面广,数据复现性高、测量稳定、便捷、高效,是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。
1.CP200国产台阶仪品牌出色的重复性和再现性,满足被测件测量精度要求
线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
2.超微力恒力传感器:(1-50)mg可调
测力恒定可调,以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的精准接触式测量。
3.超平扫描平台
系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,提高扫描精度,真实反映工件微小形貌。
4.顶视光学导航系统,5MP超高分辨率彩色相机
5.全自动XY载物台, Z轴自动升降、360°全自动θ转台
6.强大的数据采集和分析系统
台阶仪软件包含多个模块,为对不同被测件的高度测量及分析评价提供充分支持。
1.参数测量功能
1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料;
2)粗糙度与波纹度:能够测量样品的粗糙度和波纹度,分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线,可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;
3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲,如在半导体晶圆制造过程中,因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化,或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。
2.数采与分析系统
1)自定义测量模式:支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式;
2)导航图智能测量模式:支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。
3)SPC统计分析:支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析,针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。
3.光学导航功能
配备了500W像素的彩色相机,可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示,进行即时的高精度定位测量。
4.样品空间姿态调节功能
配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。
台阶仪还是一种常用的膜厚测量仪器,它是利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度,包括金属、陶瓷、塑料等。
CP200国产台阶仪品牌是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。针对测量ITO导电薄膜的应用场景,CP200台阶仪提供如下便捷功能:
1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;
2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;
3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;
型号 | CP200 |
测量技术 | 探针式表面轮廓测量技术 |
探针传感器 | 超低惯量,LVDC传感器 |
平台移动范围X/Y | 电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平) |
样品R-θ载物台 | 电动,360°连续旋转 |
单次扫描长度 | 55mm |
样品厚度 | 50mm |
载物台晶圆尺寸 | 150mm(6吋),200mm(8吋) |
尺寸(L×W×H)mm | 640*626*534 |
重量 | 40kg |
仪器电源 | 100-240 VAC,50/60 Hz,200W |
相对湿度:湿度 (无凝结)30-40% RH
温度:16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)
地面振动:6.35μm/s(1-100Hz)
音频噪音:≤80dB
空气层流:≤0.508 m/s(向下流动)
如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
中图白光干涉仪国产品牌
型号:SuperViewW1 面议中图仪器chotest白光干涉三维轮廓仪 W系列
型号:SuperViewW系列 面议台阶厚度仪
型号:CP系列 60万台阶仪接触式表面形貌测量仪器
型号:CP 60万台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,能高精度测量微观表面形貌,揭示表面微观特征。它具有高速扫描能力,测量范围广泛,可应用于科学研究、材料表征、纳米技术等领域。台阶仪的优势包括高精度、快速测量和广泛适用范围。
台阶仪分辨率越高,就能够分辨出更小的表面形貌差异,得到更精确的测量结果。在半导体制造、纳米技术、生物医学等领域,精确测量材料表面的微观台阶高度对于产品质量控制和生产效率至关重要。通过使用高分辨率的台阶仪,制造商可以确保产品的质量和性能,同时提高生产效率。
中图仪器台阶仪CP200的工作原理介绍
台阶仪CP200的使用方法?
中图仪器CP200多少钱一台?
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台阶仪CP200使用的注意事项?
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