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v 晶圆甩干机系高洁净度的冲洗旋干设备。主要系应用于硅晶圆、掩模板、太阳能电池等材料的高洁净度冲洗旋干。设备具有单工作室、双工作室两种结构
v 产品类型：有立式单腔，双腔晶圆甩干机(2-12寸)，水平多工位甩干机(2-12寸)
v 单次甩干数量1-25块
作业程序：冲洗、烘干的步骤顺序、时间、 转速等可分段编辑，（可设 recipe 为 10 个）
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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