电镜专用微区结构分析---牛津仪器全能型 S2 EBSD

 SymmetryS2是搭载于扫描电镜（SEM）/聚焦离子束扫描电镜（FIB-SEM）的电子背散射衍射仪(EBSD探测器)，基于始创的CMOS技术。它是一款拥有出色的性能、易用性以及一系列创新设计的特点的EBSD。可用于金属、合金、陶瓷、地质、半导体、电池样品的结构、物相、晶粒、取向等分析。

     Symmetry S2采用专门定制的CMOS传感器，拥有独特而强大速度、灵敏度和衍射花样细节等特点。Symmetry S2与AZtec软件相结合，为各种材料和测量提供出色的性能。Symmetry S2的分析速度超过4500pps，是市场上任何基于CCD的EBSD探测器的两倍以上，而这是在没有高束流或过多像素合并的条件下实现的。这意味着，即使在具有挑战性的实际样品上，如多相轻金属合金或变形钢，也能实现高速分析。

·       仅用12 nA束流就能保证标定速度超过4500 pps

·       在高速下具有156x88像素图像分辨率–比快速CCD探测器的像素高出16倍以上

·       全分辨率（1244x1024）模式——高分辨率(HR)-EBSD应变分析的理想选择

·       低失真光学元件, 确保角度精度优于0.05°

·       优化荧光屏的高灵敏度, 确保低剂量和低电子束能量下的高质量花样——实现更大的空间分辨率

·       即使在高速下也能实现无缝集成EDS

·       软件控制倾斜接口并自动校准——无论样品尺寸大小，都能实现准确的定位和标定

·       波纹管SEM接口，保持显微镜真空完整性

·       接近传感器——在可能发生的碰撞发生前提前感知,并自动将探测器移动到安全位置

·       简单直观的探测器设置，确保每次都能获得良好的效果

五个集成的前散射探测器（FSD）, 提供彩色通道衬度图像和原子序数衬度图像