产地类别： 进口
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Sievers硼分析仪可用于去离子超纯水应用，实现对超低硼含量的连续自动在线监测。该分析仪每小时能够检测10个样品，具有15 ppt硼的检测极限（LOD）。Sievers硼分析仪设计用于满足设备管理人员、去离子水工程师和晶圆制造工程师的需求。
易于操作和维护
Sievers硼分析仪可以预测混床失效、优化EDI性能并控制抛光循环水的硼水平。这款硼分析仪可以在二氧化硅释放前检测到硼含量的增加，这有助于防止二氧化硅渗漏到超纯水中。Sievers硼分析仪可显著降低运营成本，保持超纯水系统的质量。
硼分析仪的特点与优势
连续在线监测低至15 ppt的硼
多流路选项——最多四个样品流
丰富的输出选择——四个独立的4-20 mA输出，一个独立的RS-232，一个通用并行打印机端口，两个报警输出和四个独立的二进制输出
最少的维护与耗材需求
配件包包含安装所需的配件
半导体超纯工艺水
超纯水电力应用
运行规格 | |
|---|---|
| 浓度范围 | 0.015至20 ppb B |
| 检测限（LOD） | 0.015 ppb B |
| 准确度 | ± 0.01 ppb B <0.05 ppb B ± 15% >0.05 ppb B |
| 精确度 | ± 3%或0.005 ppb B（以较高者为准） |
| 最小样品 电阻率 | 15 megaohms–cm |
| 样品温度 | 15°-40°C |
| 样品流速 | 0.1 -0.5 L/分钟 |
| 环境温度 | 10°C–40°C |
| 样品压力 | 20-100 psig（138-689 kPa） |
| 校准稳定性 | 通常12个月 |
| 样品颗粒 | 15微米样品预过滤 |
| 废物 | 重力排放（无背压） |
仪器规格 | |
| 输入 | 5个隔离二进制输入 |
| 输出 | 4个独立4-20 mA输出，1个独立RS-232，1个通用并行打印机端口，2个报警输出，4个独立二进制输出 |
| 尺寸 | 20.625 H x 17.25 W x 12.25 D英寸（53 x 44 x 31 cm） |
| 重量 | 48 lbs（22kg） |
| 认证 | CE（点击此处获取符合性声明） |
耗材 | |
| 硼试剂 | 90天（12分钟取样率） 45天（6.5分钟取样率） |
| 试剂柱 | 12个月 |
| 零柱 | 12个月 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 不定期培训
免费仪器保养: 视具体使用情况
保内维修承诺: 更换零部件
报修承诺: 视具体情况
Sievers分析仪提供总有机碳TOC和超纯水UPW硼分析仪。Sievers产品组合可为微电子制造过程的每个步骤提供分析解决方案。
超纯水（UPW）生产的一致性对微电子制造至关重要，并且有助于保护产品质量。除基本的超纯水监测以外，在如何对偏离趋势的结果迅速做出反应，并进行有效的故障排查和过程控制方面，微电子工厂也面临着挑战。其他关注领域包括，确保化学品纯度以改善工艺性能和批量生产，以及监测废水和回用水。
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