产品简介 |
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HCP421SV-MPS Instec的真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。 |
功能特点 |
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mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备 |
可编程控温，涵盖-190℃~1000℃（具体由型号而定） |
适用 10 mm ~ 50 mm 晶圆和器件 |
可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用 |
独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针 |
可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK |
*可做定制或改动，详询上海恒商 |
温控参数 | |
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温度范围 | -190℃~400℃（负温需配液氮制冷） |
加热块材质 | 银 |
传感器/温控方式
升温速率 | 100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源） 120℃/min（at 100℃） |
温控速度 | ±0.01℃/min |
温度分辨率 | 0.01℃ RTD传感器 |
温度稳定性 | ±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃） |
软件功能 | 可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线 |
电学参数 | |
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探针 | 默认为铼钨材质的弯针探针 |
探针座 | 可从外部XYZ移动的探针臂 粗调模式+微调模式，微调行程2mm |
点针 | 从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置 |
探针接口 | 默认为BNC接头，可选三同轴接口 |
样品台面电位 | 默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口 |
光学参数 | |
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适用光路 | 反射光路 |
窗片 | 可拆卸与更替的窗片 |
物镜工作距离 | 12 mm *截面图中WD |
上盖窗片观察 | 窗片范围φ50mm，视角±40° *截面图中θ1 |
负温下窗片除霜 | 吹气除霜管路 |
结构参数 | |
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适用样品 | 10 mm ~ 50 mm 直径 （标准） *可定制可到300mm的样品台面 |
样品腔高 | 8 mm |
探针座 | 可从外部XYZ移动的探针臂 粗调模式+微调模式，微调行程10mm |
气氛控制 | 真空腔，也可充入保护气体 |
外壳冷却 | 可通循环水，以维持外壳温度在常温附近 |
台体尺寸/重量 | 300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg |
可选型号 | |
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TP102SV-MPS | 温度范围 -40℃ ~ 180℃，样品区,40mm*40mm |
HCP421SV-MPS | 温度范围 -190℃ ~ 400℃，样品区 28mm*30mm |
HCP402SV-MPS | 温度范围 -190℃ ~ 400℃，样品区 50mm*50mm |
HP1000SG-MPS | 温度范围 35℃ ~ 1000℃，样品区 25mm*25mm,气密腔室 |
定制型号 | 按客户需求定制，适用300mm晶圆样品 |
典型应用 |
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表征薄膜、二维材料、纳米材料和分子/有机材料器件的电性能测试 |
需要加热块表面电接地、接同轴BNC接口、三同轴BNC接口的 |
需要钨铼探针、铍铜探针或其他材料的探针的 |
需要从外部对台体内探针进行XYZ移动的 |
晶圆、半导体器件、集成电路、印刷电路板、光伏板、LCD/LED测试 |
测量IV和CV特性、击穿电压、漏电流、电阻、介电常数和二极管效率 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 按客户需求人数培训
免费仪器保养: 1年校准1次
保内维修承诺: 非人为损坏免费维护
报修承诺: 2小时内响应
