INSTEC HCP421V-MPS 通用迷你温控探针台

产品简介

INSTEC HCP421V-MPS 通用迷你温控探针台真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。

功能特点

mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备，可编程控温，涵盖-190℃~400℃，适用 10 mm ~30 mm 晶圆和器件，可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用，独立的四个探针（可升级至七个臂），可从设备外部移动探针进行点针，可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK，模块化设计，可自由组合。

温控参数

• 温度范围：-190℃~400℃（负温需配液氮制冷）

• 加热块材质：银

• 传感器/温控方式：100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）

• 最大升温速率：30℃/min

• 最小温控速度：±0.01℃/min

• 温度分辨率：0.01℃ RTD传感器

• 温度稳定性：±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

• 软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线

电学参数

• 探针：默认为铼钨材质的弯针探针

• 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂

• 点针：从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置

• 探针接口：标准BNC接头，可选三同轴接口

• 样品台面电位：标准电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口

光学参数

适用光路：反射光路

窗片：可拆卸与更替的窗片

最小物镜工作距离：12 mm

上盖窗片观察：窗片范围φ50mm，最大视角±50°

负温下窗片除霜：吹气除霜管路

结构参数

• 适用样品：30 mm

• 样品腔高：8 mm

• 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂

• 调节精度 ：10um

• 气氛控制：真空腔，也可充入保护气体

• 外壳冷却：可通循环水，以维持外壳温度在常温附近