电镜腔等离子清洗器

GV10x 电镜腔等离子顺流灰化仪是由Ibss Group与一位拥有专利的等离子源发明者合作开发而成，是真空腔体中的原位灰化仪的一个全新应用。

GV10x电镜腔等离子顺流灰化仪通常使用空气或氧气产生氧的自由基来去除碳氢污染。此外，NIST（美国国家标准技术研究所）研究表明，在GV10x电镜腔等离子顺流灰化仪中运用氢气去除沉积在多层镜面和其它衬底以及氧化敏感的样品上的碳沉积方面是最安全有效的方法：

• GV10x可以在分子泵工作的真空压力状态下安全运行，而不需要中断SEM、FIB或TEM系统的软件控制。

• 同时它比传统方法更加有效10到20倍地去除碳和碳氢污染。

• 它能去除扫描电子显微镜（SEM）图像中的假象，使电子显微镜保持高分辨率和束流稳定性。

• 它不但消除扫描电子显微镜图像中的黑色扫描方框，针对聚焦离子束（FIB）和透射电子显微镜（TEM）中的碳污染同样能得到很好的控制效果。