台阶仪

台阶仪

               厚度47nm 标准样品,三次重复测量结果叠加   (无任何减噪修正，原始数据输出） 500um扫描, 2um探针

NanoMap-PS是一款专门为nm级薄膜测量研发的无需防震台即可测量的接触式台阶仪

•    AFM同款位移传感器，超高精度

•    压电陶瓷驱动扫描，绝对无内源振动

•    自集成主动反馈式防震系统

•    真正无需额外辅助防震系统，实现高重复性纳米测量

•   纳米量级科学研究的必备产品
  

NanoMap-PS 台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），划痕深度，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量方面。其高精度，高重复性，自动探索样品表面，自动测量深受广大客户欢迎。

测量表面可以覆盖多种材料表面：金属材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，对于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻胶等“柔软表面”也可测量无须担心划伤或破坏。设备传感器精度高，稳定性好。热噪声是同类产品最低的。垂直分辨率可达0.1nm 。 可测表面，包括透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料，金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿等；
  

AEP的技术日新月异。 欲了解最新的产品性能参数，请与我们联系。
  
主要参数 :  

垂直分辨率             0.1nm

垂直最大量程         1000um
探针接触力             0.03mg-100mg

平台范围                 直径150毫米（可选200毫米或更大）
高清图像                  4级放大，彩色CCD
成像光源                  双长寿命强光LED

金刚石探针               0.5um 到 25um 可选

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关键词：轮廓仪、形貌仪、磨损体积测量仪、台阶仪、薄膜测厚仪、三维表面轮廓仪、三维轮廓仪、白光干涉仪、三维台阶仪、三维薄膜分析仪、三维形貌仪、三维粗糙度仪、表面轮廓仪、表面台阶仪、薄膜分析仪、表面形貌仪、表面粗糙度仪、非接触式轮廓仪、非接触式台阶仪、非接触式表面形貌仪、非接触式表面粗糙度仪、接触式轮廓仪、接触式台阶仪、接触式表面形貌仪、接触式表面粗糙度仪、探针式轮廓仪、探针式台阶仪、探针式表面形貌仪、探针式表面粗糙度仪、双模式轮廓仪、双模式台阶仪、双模式表面形貌仪、双模式表面粗糙度仪、三维表面轮廓仪、三维表面台阶仪、三维表面形貌仪、三维表面粗糙度仪维表面形貌仪、三维表面粗糙度仪 stulye profiler，台阶仪，台阶仪，台阶仪，台阶仪，台阶仪，台阶仪，台阶仪，台阶仪，台阶仪，bruker，Daktek，Veeco，Dektak XT，Ambios， KLA-Tencor，D-100，D-120，ST-100，ST-200，ST-300，

XP-1/XP-2；XP-100(D100)/XP-200(D120)/XP-300；α-step IQ(100,200,250,500)；α-step P6；α-step P16+(P1,P2,P10,P11,P11,P15)；α-step P16+0F；  KLA-Tencor公司

光学轮廓仪(白光干涉仪/ 移相干涉仪)；MicroXam 100；MicroXam 1200