原装进口光学膜厚仪/薄膜测厚仪FR-pRo

光学膜厚仪

干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。

应用领域：
1、半导体晶片
2、液晶产品（CS,LGP,BIU） 
3、微机电系统
4、光纤产品
5、数据存储盘（HDD,DVD,CD）
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物医学工程

FR-pRo是一个模块化和可扩展的测量仪器系列，可根据客户需求量身定制，能够通过标准的吸光度/透射率和反射率测量，在温度和环境受控环境下进行薄膜表征，用于各种不同的应用。

FR-pRo 工具经过精心设计，可通过以下方式组装：核心单元和测量配置和附件列表中的模块和套件。

通过选择或组合各种核心单元和不同的模块和套件，用户可以根据他们的需要进行最合适的测量和表征设置。

核心单元

核心单元包含一个小型高性能光谱仪、一个合适的光源和所有必要的电子模块（电源和控制器）。该光源提供高稳定性的发射光谱、软件控制的光强度和非常长的操作时间。核心单元外壳由优质工业阳极氧化铝制成，具有坚固的模块化结构。核心单元的顶盖是一块光学面包板带有预钻孔的 M6（或 ?”）螺纹，尺寸为 340mm x 200mm。顶盖用作样品、测量设备和标准 SMA-905 连接器的支架，用于将来自光源的光传输到光谱仪的光纤。核心单元在 200-2500nm 波长范围内有多种配置可供选择，并且可以进一步调整以满足某些应用需求。

产品特点

1 、非接触式测量：避免物件受损。
2 、三维表面测量：表面高度测量范围为 2nm ---500μm。 
3 、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4 、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需几秒钟。
6 、扫描仪：闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8 、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算

技术参数

FR -监控软件

用于控制的FR -扫描仪、执行数据采集和分析薄膜的厚度。该系统简单易学，对于初学者能很快掌握适用于各种windows系统。

典型案例

4英寸硅片退火处理后二氧化硅膜厚映射

8英寸硅片上沉积多晶硅层的膜厚映射 

3英寸硅片SU-8胶薄膜厚度映射