核心参数
仪器种类: 原子力显微镜
产地类别: 进口
仪器类型: 材料型
定位检测噪声: X-Y≤0.25nm, Z≤0.03nm
样品尺寸: 直径≤50mm, 厚度≤20mm
样品台移动范围: 20mm*20mm
Park NX10 原子力显微镜 奈米科技研究的理想选择 |
创新研究的理想选择 Park NX10为您带来高精纳米级分辨率的数据,值得您信赖、使用和拥有。 无论是从样品设定还是到全扫描成像、测量与分析,Park NX10都可以在保证您专注于创新研究工作的同时提供高精度的数据。 |
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创新研究的特征
Park SmartScan 智能模式 在SmartScan Auto专有的智能模式下,系统自动执行所需要的成像操作,同时智能选择高品质的图像质量和扫描速度。 这是通过Park的专有技术才得以实现的。 它不仅可以为您节省时间和金钱,还可以给您带来满意的研究结果。 | Park 消除串扰技术 Park NX10为您带来高精纳米级分辨率的数据,值得您信赖、使用和拥有。 它是一款非接触式原子力显微镜,在延长探针使用寿命的同时,还能良好地保护您的样品不受损坏。 可弯曲的独立XY扫描仪和Z扫描仪可带来较高精准度和分辨率。 | |
Park原子力显微镜模式 Park原子力显微镜具有综合性的扫描模式,因此您可以准确有效地收集各种数据类型。 从使用非接触模式用来保持探针的尖锐度和样品的完整性到磁力显微镜, Park在原子力显微镜领域为您提供引领创新、精准的模式。 | Park NX10 扫描离子电导显微镜模块 Park NX10扫描离子电导显微镜模块为广泛的应用,细胞生物学,分析化学,电生理学和神经科学提供纳米级成像。 |
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Accurate AFM Solutions for General Research
Tall Sample 1.5 µm step height | Flat Sample Atomic steps of sapphire wafer | |
√ 扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌 | √ 台阶高度0.3 nm,扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌 | |
Hard Sample Tungsten film | Soft Sample Collagen fibril | |
√ 扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌 | √ 扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌 |
Accurate AFM Measurement with Low Noise Z Detector
Park NX10原子力显微镜的低噪声Z探测器 √ NX系列核心技术 √ 业界引领的低噪声 √ 默认的形貌信号 | Z轴探测器是全新NX系列原子力显微镜的核心技术之一。 它是Park的创新型应变传感器。 凭借着0.2埃的低噪声一跃成为行业内噪声较低的Z轴探测器。 低噪声让Z轴探测器可作为默认的形貌信号,全新的NX系列原子力显微镜与前几代的原子力显微镜的差异可轻易被观察到。 如果Z轴探测器的噪声过高,用户无法观察到蓝宝石晶片的原子台阶。 Park NX系列原子力显微镜的Z轴探测器所发出的高度信号,其噪声水平与Z轴电压形貌相同。 |
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——Park NX Series—— Park NX Z轴探测器的噪声水平 | NX10所探测的蓝宝石晶片形貌 |
——Park XE Series—— Park XE Z轴探测器的噪声水平 | XE-100所探测的蓝宝石晶片形貌a |
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Accurate AFM Scan by True Non-Contact™ Mode
True Non-Contact™ Mode | Tapping Imaging |
√ 针尖磨损更低=高分率扫描更长久 √ 无损式探针-样品接触=大限度减少样品受损程度 √ 可满足各种条件下对各种样品进行非接触式扫描 | !针尖磨损更快=模糊,低分辨率扫描 !破坏性的探针-样品接触=样品易受损 !参数高依赖性 |
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The Best User Convenience by Design
专有的设计能让您轻易地用手从侧面更换新的探针和样品。 借助安装悬臂式探针夹头中预先对齐的悬臂,无需再进行繁杂的激光校准工作。 |
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闪电般快速的自动近针
自动的探针样品进针功能能让用户无需进行干预操作。 通过监测悬臂接近表面的反应,Park NX10能够在悬臂装载后十秒内开始并自动快速完成探针样品进针操作。 高速Z轴扫描器的快速信息反馈和NX电子控制器的低噪声信号处理使得无需用户干预就能快速接触样品表面。 |
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快速精准的SLD光校准
凭借我们领跑的预校准悬臂架,悬臂在装载时SLD光便已聚焦完毕。 此外,自上而下的同轴视角可以让您轻松找到光点。 由于SLD光垂直照在悬臂上,您可通过旋转两个定位按钮直观地在X轴Y轴移动光点。 这样您可以在激光准直页面中轻易找到SLD光并将其定位在PSPD上。 此时您只需要稍微调整信号,便可开始获取数据。
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Park NX10 features
扫描范围为50um x 50um 的2D扫描器 XY轴扫描器有对称的二维高强度压电叠堆。 它可为进行精确的纳米级样品扫描,提供基本的面外高效正交运动和高响应能力。 Park NX10的这种紧密刚硬的构造具备低噪声高速的伺服响应能力。 | 高速Z轴扫描器,扫描范围达15um 借助高强度压电叠堆和挠性设计,标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz)且探针的Z轴速率不低于48mm/秒。 Z轴扫描范围可从标准的15 µm扩展至30 µm(可另选Z扫描头)。 | |
低噪声XYZ位置传感器 行业前沿的低噪声Z轴探测器代替Z电压作为形貌信号。 低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。 | 驱动XY轴样品台 XY轴样品台是驱动化的,以便于将样品导航并定位到扫描区域。 这种驱动台在这两个轴上的分辨率同为0.6um(使用微步)。 | |
自动步进扫描 借助驱动样品台,步进扫描可编程多区域成像,以下是它的工作流程: 1) 扫描成像 2) 抬起悬臂 3) 移动驱动平台到设定位置 4) 进针 5) 重复扫描 该自动化功能可大大减少扫描过程中手动需求,从而很大程度上提高生产力。 | 操作方便的样品台 Park NX10的特有头部设计可使用户从侧面操作样品和探针,用户在样品台上可放置的样品体积 up tp 50mm× 50mm×20mm(长×宽×高)。 | |
滑动崁入SDL镜头的自主固定方式 您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜镜头。 该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置,同时与复位精度为几微米的电路系统相连接。 借助于相关性低的SLD,显微镜可精准成像并可准确测定力-距离曲线。 | 结合了集成LED照明的同轴高倍显微镜 超长工作距离的定制物镜(工作距离50mm, 数值孔径0.21,分辨率1.0 μm )带来高精镜头清晰度。 直视同轴设计使得用户可轻易在样品表面寻找目标区域。 EL20x的长行程物镜的大尺寸CCD可为您在高视角前提下提供0.7 μm的高分辨率。 | |
高级扫描探针显微镜模式和选项的扩展槽 只需将可选模块插入扩展槽便可激活高级扫描探针显微镜模式。 得益于NX系列原子力显微镜的模块设计,其生产线设备兼容性得到大大提高。 | 垂直调节驱动的Z平台和聚焦平台 驱动Z平台和驱动聚焦平台可使悬臂检测样品表面并为用户持续提供清晰的图像。 用户通过软件界面进行操控,由高精度步进电机带动,即使是透明样品或液池应用中都可简单操作。 | |
高速24位数字控制器 所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。 该控制器是个全数字,24位高速控制器,可确保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。 凭借着低噪声设计和高速处理单元,该控制器也是纳米成像和精准电压电流测量的理想选择。 嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能,更好的解决方案,是高级研究员的理想选择。 XY和Z轴检测器的24位信号分辨率 •XY轴(50 μm)的分辨率为0.003 nm •Z轴(15 μm )的分辨率为0.001 nm 嵌入式数字信号处理功能 •三通道数码锁相放大器 •弹簧系数校准(热方法) •数据Q控制 集成式信号端口 •专用可编程信号输入/输出端口 •7个输入端口和3个输出端口 |
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Park NX10技术参数
扫描器 | Z扫描器 柔性引导高推动力扫描器 扫描范围: 15 µm (可选30 µm) 高度信号噪声等级: 30 pm 0.5 kHz bandwidth, rms (typical) | XY扫描器 闭环控制的柔性引导XY扫描器 扫描范围: 50 µm × 50 µm (可选10 µm × 10 µm 或 100 µm × 100 µm) |
驱动台 | Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized) 聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized) | XY位移台行程范围 : 20 mm x 20 mm (Motorized) |
样品架 | 样品尺寸: 开放空间 up to 100 mm x 100 mm,厚度 up to 20 mm 样品重量 : < 500 g | |
光学 | 10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率) 样品表面和悬臂的直观同轴影像 视野 : 480 × 360 µm (带10倍物镜) CCD : 100万像素, 500万像素 (可选) | |
软件 | SmartScan™ AFM系统控制和数据采集的专用软件 智能模式的快速设置和简易成像 手动模式的高级使用和更精密的扫描控制 | XEI AFM数据分析软件 |
电子 | 集成功能 4通道数字锁相放大器 弹性系数校准(热方法,可选) 数据Q控制
连接外部信号 20个嵌入式输入/输出端口 5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP,调制和交流偏压 | |
AFM模式 (*可选项) | 标准成像 真正非接触式原子力显微镜 PinPoint™ 原子力显微镜 接触式原子力显微镜 横向力显微镜 (LFM) 相位成像 轻敲式原子力显微镜
力测量 力-距离(F/d)光谱 力谱成像
介电/压电性能 静电力显微镜(EFM) 动态接触式静电力显微镜(EFM-DC) 压电力显微镜(PFM) 高压压电力显微镜*
机械性能 力调制显微镜(FMM) 纳米压痕* 纳米刻蚀* 高压纳米刻蚀* 纳米操纵* | 磁学特性* 磁力显微镜(MFM) 可调制磁力显微镜
电性能 导电原子力显微镜(C-AFM)* IV谱线* 扫描开尔文探针显微镜(KPFM) 扫描电容显微镜(SCM)* 扫描电阻显微镜(SSRM)* 扫描隧道显微镜(STM)* 光电流测绘 (PCM)*
化学性能* 功能化探针的化学力显微镜 电化学显微镜(EC-AFM) |
原子力显微镜选项 | 温度控制 温控台 1 -25 °C to +170 °C 温控台 2 Ambient to +250 °C 温控台 3 Ambient to +600 °C
液体池 通用液体池 有液体/气体灌注的开放式或封闭式液体池 控温范围: 0 °C to +110 °C (in air), 4 °C to +70 °C (with liquid) 电化学池 开放式液体池 | 液下探针柄 专为在一般液体环境中成像而设计 对大多数包括酸在内的缓冲溶液具有抗腐蚀性 可在液体中进行接触式和非接触式原子力显微镜成像
磁场发生器 施加平行于样品表面的外部磁场 可调磁场 Range : -300 ~ 300 gauss 由纯铁芯和两个电磁线圈组成 |
用户单位
采购时间
采购数量
湖南大学
2017/11/11
1
东北电力大学
2017/08/11
1
陕西科技大学
2017/06/14
1
浙江大学
2017/07/04
2
天津大学
2018/07/03
1
Park 原子力扫描探针Park NX10的工作原理介绍
扫描探针Park NX10的使用方法?
Park 原子力Park NX10多少钱一台?
扫描探针Park NX10可以检测什么?
扫描探针Park NX10使用的注意事项?
Park 原子力Park NX10的说明书有吗?
Park 原子力扫描探针Park NX10的操作规程有吗?
Park 原子力扫描探针Park NX10报价含票含运吗?
Park 原子力Park NX10有现货吗?
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电化学原子力显微镜(EC-AFM)实时监测铜在金表面的电沉积
近年来,对电化学过程的理解如电沉积(也称电镀)在各种科学技术中的作用变得非常凸显,包括括微电子、纳米生物系统、太阳能电池、化学等其他广泛应用。〔1,2〕电沉积是一种传统方法,利用电流通过一种称为电解质的溶液来改变表面特性,无论是化学的还是物理的,使得材料可适合于某些应用。基于电解原理,它是将直流电流施加到电解质溶液中,用来减少所需材料的阳离子,并将颗粒沉积到材料的导电衬底表面上的过程[3 ]。此项技术会普遍增强导电性,提高耐腐蚀性和耐热性,使产品更美观。良好的沉积主要取决于衬底表面形貌〔4〕。因此,一项可以在纳米等级上测量,表征和监测电沉积过程的技术是非常必要的。有几种方法被应用到了这种表面表征。例如像扫描电子显微镜(SEM)和扫描隧道显微镜(STM)。 这些技术可以进行纳米级结构的测量,但是,其中一些为非实时下的,一些通常需要高真空,而另一些则由于其耗时的图像采集而不适用于监测不断变化的过程。[2,5] 为了克服这些缺点,电化学结合原子力显微镜(通常称为EC-AFM)被引入进来。 这种技术允许用户进行实时成像和样品表面形貌变化的观测,并可以在纳米级的特定的电化学环境下实现。[ 6 ] 在此次研究中,成功地验证了铜颗粒在金表面的沉积和溶解。利用Park NX10 AFM在反应过程中观察铜颗粒的形态变化,并在实验过程中使用恒电位仪同时获得电流-电压(CV)曲线。
钢铁/金属
2019/07/04
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Park SThM USER'S MANUAL 扫描热显微镜用户操作手册
SThM技术通过使用带有电阻元件的热探针来绘制样品表面的热特性。扫描热显微镜(SThM)在两种模式下是可用的,热力模式(TCM)和热传导模式(CCM)。TCM允许用户测量样品表面的温度变化。CCM允许用户测量样品表面的热导率变化。
1858KB
2019/11/26
Park NX系列MFM USER'S MANUAL 磁力显微镜用户操作手册
磁力显微镜(MFM)是一种通过测量磁化尖端和磁性表面之间的磁力来绘制样品表面磁性的技术。MFM图像包含有关磁性的信息,如磁域的分布。
2060KB
2019/11/26
Park NX系列 EFM User's Manual 静电力显微镜用户操作手册
静电力显微镜(EFM)是一种通过测量样品表面和偏压AFM悬臂之间的静电力来反映样品表面电学性质的技术。EFM图像包含有关电子特性的信息,如样品表面的表面电位和电荷分布。
2641KB
2019/11/26
Park NX系列 C-AFM Users Manual 操作手册
在C-AFM测量中,导电尖端以接触模式AFM扫描表面,以映射出同一表面的形貌。同时,通过测量针尖与样品之间的电流,来反映样品表面的电导率等电特性。一般情况下,针尖与样品之间的电流非常小,需要用电流放大器放大后才能加工成图像。NX系列SPMs支持10^6~10^12 V/A可变增益的内部电流放大器,满足各种测量条件的需要。
2158KB
2019/11/26
网络讲座:导电原子力显微镜(C-AFM)在二维材料及纳米电子器件中的应用
导电原子力显微镜(C-AFM)是一种非常有用的扫描探针显微镜(SPA)纳米表征技术,它不仅可以对样品的形貌进行表征,更重要的是可以探测许多介质材料和电子器件的局部电学性质。C-AFM技术已经成功表征了介质薄膜的许多重要的纳米级现象,比如:局部缺陷、电荷捕获和释放、应力诱导漏电流、负偏置温度不稳定性等。   目前,随着电子器件尺寸和介电材料厚度的不断缩减,纳米级电学性质表征技术手段的应用和发展变得日益重要。本讲座首先简要介绍C-AFM技术的发展历程、工作原理、工作特点及方式;其次重点介绍C-AFM技术在二维材料和忆阻器中的电学表征应用。   具体内容是利用C-AFM技术:1.研究化学气相沉积法制备的六方氮化硼(h-BN)的电学性质:介质击穿特性和厚度及电学性质均一性;2.在不同环境(大气和真空)下探测h-BN基忆阻器的阻变特性及导电细丝的形态表征;3.通过与其它电学设备相结合,实现更高性能的技术表征。最后,探讨未来多探针SPA技术的发展概念,有望实现在真空环境下对材料或器件的原位制备和表征。 主讲人: 惠飞博士 现以色列理工学院博士后,2018年7月获得巴塞罗那大学和苏州大学双博士学位。在攻读博士期间,她曾先后到世界顶级名校美国麻省理工学院和英国剑桥大学进行为期12个月和6个月的访学。在科研方面,5年时间内,她共参与发表SCI期刊学术论文38篇,其中,一作论文11篇,包括顶级期刊Nature Electronics, AdvancedFunctional Materials, ACS Applied Materials & Interfaces, 2D Materials, Nanoscale等。另外,她还参与德国Wiley出版的专著篇章一部,获批国家发明专利一项,申请国际专利两项,参与申请国际间/国家自然科学基金项目等8项。曾获得2019 ParkAFM博后奖学金、英国皇家化学会学者奖学金等。她的主要研究领域是化学气相沉积法制备二维材料及其在电子器件领域内的应用。
2941KB
2019/11/06
Park NX-Wafer 产品彩页介绍
具有自动缺陷检测&原子力轮廓仪功能的低噪声,高吞吐量原子力显微镜。NX-Wafer原子力显微镜提供精确的形貌量测,可用来监控化学机械研磨平面化制程,检测因材料差异所造成异质材料间的凹陷(dishing)效应与浸蚀(erosion)效应
1356KB
2019/11/06
Park NX-Hivac产品彩页介绍
用于失效分析应用的高真空扫描,再高真空条件下进行SSRM(Scanning Spreading-Resistance Microscopy-扫描扩展显微镜)测量能够减少所需的针尖-样品相互作用力,并减少对样品和针尖的损伤,延长针尖的使用寿命,并能通过提高空间分辨率和信噪比从而提供更准确的结果。
2888KB
2019/11/06
Park原子力显微镜NX12彩页
Park NX12有纳米级分辨率成像以及电,磁,热和机械性能测量的能力;纳米管扫描系统可用于高分辨率扫描离子电导显微镜(SICM)。
1392KB
2019/11/06
帕克原子力显微镜XE15使用手册
Park XE15具备多个特殊功能,是共享实验室处理各类样品、研究员进行多变量实验、失效分析时研究晶片等的不二选择。合理的价格搭配强健的性能设置,使其成为业内性价比最高的大型样品原子力显微镜。
1994KB
2018/07/17
Park原子力显微镜NX20使用手册
作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器,其主要目的是对样品进行缺陷检测。 而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20,这款全球最精密的大型样品原子力显微镜,凭借着出色的数据准确性,在半导体和超平样品行业中大受赞扬。
1656KB
2018/07/17
帕克网络讲堂:原子力显微镜测定力—距离曲线的原理和应用
1. 力和距离曲线在表面科学,纳米技术,生物科学 和许多其他研究领域中也扮演了非常重要角色。 2. 力和距离曲线是Park所有机台的默认配置,不需要 特殊的模块配合使用,但是很少人充分利用。 3. 操作简单,但是涉及的难点却很多。如探针的选择, 参数的设定,悬臂的校准等等。 4. 不仅有一般力和距离曲线,还包括液下力和距离曲 线,还有Park 推出的PinPoint模式也都是这个领域的 延伸。 5. 对于特殊材料进行力曲线分析,如细胞等样品,探 针的改良也是一种保护样品不被破坏的途径,并能够 让测量变成更容易的几何运算。它也是一种力曲线的分析难点之一。
1845KB
2018/07/12
利用Park NX系统的全自动原子粒显微镜测量及分析
多年来,为了不断满足市场需求和同比更快更高效的设计,半导体元件尺寸已经达到甚至小于1X纳米节点。元件制造方法一直在提高,从2006年的65纳米达到了2014年的14纳米1X节点。国际半导体技术路线图目前预测第一个替代1X的7纳米元件或许会在2017年初次登场。[1]为了延续这样的速度,制造商必须有满足分辨率、精密度和精确度的计量要求的能力。满足这些需求的器械必须提供用于临界尺寸测量的纳米成像技术,测量结果可重复并且在大规模生产环境中能精确到提高生产力。[2] 为了应对这些挑战,通过Park系统,用原子力显微镜(AFM)工具和为自动采集和分析数据而特别定制的软件研发出一个引人注目的纳米测量方案。该软件被命名为Park XEA [3],设计这个软件的目的是为了让过程控制工程师使用AFM系统获得目标元件准确和可重复的纳米级图像,依据用户自定义的程序定制配套文件。相应的增加生产力,使这种结合的软件和硬件方案吸引各个圆片级元件制造工厂。
267KB
2018/06/28
使用扫描电容显微术(SCM)和扫描开尔文探针显微术(SKPM)成像的半导体器件的电学表征
由于半导体器件(如晶体管、二极管以及集成电路)在电路系统中的重要性,半导体器件构成了现代电子学的基础。这些半导体器件应用广泛。最普遍的应用是设计和制造1)常见的模拟设备,如无线电广播设备以及2)数字电路,用于计算机硬件。[1]影响半导体器件性能的基本因素是主要的电参数,如掺杂剂浓度水平、载体类型以及缺陷密度。因此,评估半导体器件可靠性必须用到一种能够测量这些特征并研究纳米样品的技术。对于半导体器件来说,有好几种表征方法。例如,扫描电子显微镜检查法(SEM)、透射电子显微镜法(TEM)、二次离子质谱法(SIMS)、电子束诱生电流法(EBIC)以及一维电容电压测试法(C-V)等[2]。但是,一些方法具有破坏性,一些方法的样品制备要求很苛刻,还有一些仍然不能有效的测定子器件的二维量。这些缺陷的存在以及行业内开始盛行对半导体器件不断缩小的尺寸和高可靠性的要求,促进了对新一代表征工具的需要。为了解决半导体器件工艺计量中的这一新的难度,各种类型的扫描探针显微术(SPM)被用来迎接这一挑战。扫描电容显微术(SCM)和扫描开尔文探针显微术(SKPM)与原子力显微术(AFM)相结合是半导体器件表征最有力的方法,因为它们具有无损扫描能力,在测量纳米样品方面具有较高的精确度,且无需制备任何样品。此外,这些方法与原子力显微术(AFM)的结合,使得同时获取表面状态数据和电学性质数据成为可能,而且无需改变样品或探针尖端。为此,扫描电容显微术(SCM)和扫描开尔文探针显微术(SKPM)被用来探究静态随机存取储器(SRAM)器件,而且资料表明,这些技术是半导体器件电学性质表征的有效手段。
230KB
2018/06/28
什么是原子力显微镜(基本教程)
原子力显微镜是纳米研究技术中最常用也是最基础的一个仪器。它不仅是一种高分辨率的三维形貌成像仪器还可以为工程师和研究者提供各种类型的表面测量。特别是在埃的分辨率范围,强大的原子力显微镜可以在样品制备最小化的情况下生成原子分辨率的图像处理。 那么,原子力显微镜又是怎么操作的呢?我们用视频动画的形式特别解说了原子力显微镜的工作原理,https://i.youku.com/i/UNjA1MDIwNzUy?spm=a2hzp.8244740.0.0,详细内容可参考文章。
19KB
2017/12/14
Park原子力显微镜XE7使用手册
Park XE7配有Park Systems的所有顶尖技术,而且价格十分亲民。与Park Systems的其他高级型号相比,XE7在细节的设计上也相当用心,是帮助您准时且不超预算地完成研究的理想之选。
4180KB
2017/12/07
Park原子力显微镜NX10使用手册
Park NX10为您带来最高纳米级分辨率的数据,值得您信赖、使用和拥有 。无论是样品设定、全扫描成像还是测量与分析,Park NX10都能在每一步为您节约时间,让您可以更加专注于创新研究工作。
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2017/12/07
企业名称
韩国帕克股份有限公司北京代表处
企业信息已认证
企业类型
代表处
信用代码
91110000MA01EU7K4B
成立日期
2018-09-25
注册资本
0元
经营范围
从事与隶属外国(地区)企业有关的非营利性业务活动
Park帕克原子力显微镜
公司地址
北京市海淀区彩和坊路天创科技大厦518室
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