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Park帕克原子力显微镜

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Park NX10 帕克原子力显微镜

产地: 韩国
型号: Park NX10
样本: 下载
报价: ¥100万 - 150万
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核心参数

仪器种类: 原子力显微镜

产地类别: 进口

仪器类型: 材料型

定位检测噪声: X-Y≤0.25nm, Z≤0.03nm

样品尺寸: 直径≤50mm, 厚度≤20mm

样品台移动范围: 20mm*20mm

产品介绍

Park NX10

原子力显微镜

奈米科技研究的理想选择

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创新研究的理想选择

Park NX10为您带来高精纳米级分辨率的数据,值得您信赖、使用和拥有。 无论是从样品设定还是到全扫描成像、测量与分析,Park NX10都可以在保证您专注于创新研究工作的同时提供高精度的数据。

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创新研究的特征

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Park SmartScan 智能模式

在SmartScan Auto专有的智能模式下,系统自动执行所需要的成像操作,同时智能选择高品质的图像质量和扫描速度。 这是通过Park的专有技术才得以实现的。 它不仅可以为您节省时间和金钱,还可以给您带来满意的研究结果。


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Park 消除串扰技术

Park NX10为您带来高精纳米级分辨率的数据,值得您信赖、使用和拥有。 它是一款非接触式原子力显微镜,在延长探针使用寿命的同时,还能良好地保护您的样品不受损坏。 可弯曲的独立XY扫描仪和Z扫描仪可带来较高精准度和分辨率。





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Park原子力显微镜模式

Park原子力显微镜具有综合性的扫描模式,因此您可以准确有效地收集各种数据类型。 从使用非接触模式用来保持探针的尖锐度和样品的完整性到磁力显微镜, Park在原子力显微镜领域为您提供引领创新、精准的模式。


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Park NX10 扫描离子电导显微镜模块

Park NX10扫描离子电导显微镜模块为广泛的应用,细胞生物学,分析化学,电生理学和神经科学提供纳米级成像。

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Accurate AFM Solutions for General Research

Tall Sample 1.5 µm step height

Flat Sample Atomic steps of sapphire wafer
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flatsample-Atomic-step-of-sapphire-wafer.jpg
扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌
√ 台阶高度0.3 nm,扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌



Hard Sample Tungsten film
Soft Sample Collagen fibril
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softsample-collagen-fibril.jpg
√ 扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌
√ 扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌



Accurate AFM Measurement with Low Noise Z Detector

Park NX10原子力显微镜的低噪声Z探测器

√ NX系列核心技术

√ 业界引领的低噪声

√ 默认的形貌信号

Z轴探测器是全新NX系列原子力显微镜的核心技术之一。 它是Park的创新型应变传感器。 凭借着0.2埃的低噪声一跃成为行业内噪声较低的Z轴探测器。 低噪声让Z轴探测器可作为默认的形貌信号,全新的NX系列原子力显微镜与前几代的原子力显微镜的差异可轻易被观察到。 如果Z轴探测器的噪声过高,用户无法观察到蓝宝石晶片的原子台阶。 Park NX系列原子力显微镜的Z轴探测器所发出的高度信号,其噪声水平与Z轴电压形貌相同。

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Park NX Series

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Park NX Z轴探测器的噪声水平



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NX10所探测的蓝宝石晶片形貌

Park XE Series—

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Park XE Z轴探测器的噪声水平



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XE-100所探测的蓝宝石晶片形貌a

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Accurate AFM Scan by True Non-Contact™ Mode

True Non-Contact™ Mode

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Tapping Imaging

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√ 针尖磨损更低=高分率扫描更长久

√ 无损式探针-样品接触=大限度减少样品受损程度

√ 可满足各种条件下对各种样品进行非接触式扫描

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!针尖磨损更快=模糊,低分辨率扫描

破坏性的探针-样品接触=样品易受损

参数高依赖性

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The Best User Convenience by Design

专有的设计能让您轻易地用手从侧面更换新的探针和样品。 

借助安装悬臂式探针夹头中预先对齐的悬臂,无需再进行繁杂的激光校准工作。


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闪电般快速的自动近针

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自动的探针样品进针功能能让用户无需进行干预操作。 通过监测悬臂接近表面的反应,Park NX10能够在悬臂装载后十秒内开始并自动快速完成探针样品进针操作。 高速Z轴扫描器的快速信息反馈和NX电子控制器的低噪声信号处理使得无需用户干预就能快速接触样品表面。


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快速精准的SLD光校准

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凭借我们领跑的预校准悬臂架,悬臂在装载时SLD光便已聚焦完毕。 此外,自上而下的同轴视角可以让您轻松找到光点。 由于SLD光垂直照在悬臂上,您可通过旋转两个定位按钮直观地在X轴Y轴移动光点。 这样您可以在激光准直页面中轻易找到SLD光并将其定位在PSPD上。 此时您只需要稍微调整信号,便可开始获取数据。

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Park NX10 features

扫描范围为50um x 50um 的2D扫描器

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XY轴扫描器有对称的二维高强度压电叠堆。 它可为进行精确的纳米级样品扫描,提供基本的面外高效正交运动和高响应能力。 Park NX10的这种紧密刚硬的构造具备低噪声高速的伺服响应能力。


高速Z轴扫描器,扫描范围达15um

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借助高强度压电叠堆和挠性设计,标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz)且探针的Z轴速率不低于48mm/秒。 Z轴扫描范围可从标准的15 µm扩展至30 µm(可另选Z扫描头)。


低噪声XYZ位置传感器

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行业前沿的低噪声Z轴探测器代替Z电压作为形貌信号。 低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。



驱动XY轴样品台

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XY轴样品台是驱动化的,以便于将样品导航并定位到扫描区域。 这种驱动台在这两个轴上的分辨率同为0.6um(使用微步)。


自动步进扫描

借助驱动样品台,步进扫描可编程多区域成像,以下是它的工作流程:

1) 扫描成像

2) 抬起悬臂

3) 移动驱动平台到设定位置

4) 进针

5) 重复扫描

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该自动化功能可大大减少扫描过程中手动需求,从而很大程度上提高生产力。


操作方便的样品台

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Park NX10的特有头部设计可使用户从侧面操作样品和探针,用户在样品台上可放置的样品体积 up tp 50mm× 50mm×20mm(长×宽×高)。


滑动崁入SDL镜头的自主固定方式

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您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜镜头。 该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置,同时与复位精度为几微米的电路系统相连接。 借助于相关性低的SLD,显微镜可精准成像并可准确测定力-距离曲线。



结合了集成LED照明的同轴高倍显微镜

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超长工作距离的定制物镜(工作距离50mm, 数值孔径0.21,分辨率1.0 μm )带来高精镜头清晰度。 直视同轴设计使得用户可轻易在样品表面寻找目标区域。 EL20x的长行程物镜的大尺寸CCD可为您在高视角前提下提供0.7 μm的高分辨率。


高级扫描探针显微镜模式和选项的扩展槽

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只需将可选模块插入扩展槽便可激活高级扫描探针显微镜模式。 得益于NX系列原子力显微镜的模块设计,其生产线设备兼容性得到大大提高。



垂直调节驱动的Z平台和聚焦平台

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驱动Z平台和驱动聚焦平台可使悬臂检测样品表面并为用户持续提供清晰的图像。 用户通过软件界面进行操控,由高精度步进电机带动,即使是透明样品或液池应用中都可简单操作。


高速24位数字控制器

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所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。 该控制器是个全数字,24位高速控制器,可确保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。 凭借着低噪声设计和高速处理单元,该控制器也是纳米成像和精准电压电流测量的理想选择。 嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能,更好的解决方案,是高级研究员的理想选择。


XY和Z轴检测器的24位信号分辨率

•XY轴(50 μm)的分辨率为0.003 nm

•Z轴(15 μm )的分辨率为0.001 nm


嵌入式数字信号处理功能

•三通道数码锁相放大器

•弹簧系数校准(热方法)

•数据Q控制


集成式信号端口

•专用可编程信号输入/输出端口

•7个输入端口和3个输出端口



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Park NX10技术参数

扫描器


Z扫描器

柔性引导高推动力扫描器


扫描范围: 15 µm (可选30 µm)

高度信号噪声等级: 30 pm

0.5 kHz bandwidth, rms (typical)



XY扫描器

闭环控制的柔性引导XY扫描器


扫描范围: 50 µm × 50 µm

(可选10 µm × 10 µm 或 100 µm × 100 µm)

驱动台

Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)

聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)



XY位移台行程范围 : 20 mm x 20 mm 

(Motorized)

样品架

样品尺寸: 开放空间 up to 100 mm x 100 mm,厚度 up to 20 mm

样品重量 : < 500 g




光学

10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率)

样品表面和悬臂的直观同轴影像

视野 : 480 × 360 µm (带10倍物镜)

CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)




软件

SmartScan™

AFM系统控制和数据采集的专用软件

智能模式的快速设置和简易成像

手动模式的高级使用和更精密的扫描控制



XEI

AFM数据分析软件

电子

集成功能

4通道数字锁相放大器

弹性系数校准(热方法,可选)

数据Q控制


 

连接外部信号

20个嵌入式输入/输出端口

5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP,调制和交流偏压




AFM模式

(*可选项)

标准成像

真正非接触式原子力显微镜

PinPoint™ 原子力显微镜

接触式原子力显微镜

横向力显微镜 (LFM)

相位成像

轻敲式原子力显微镜


 

力测量

力-距离(F/d)光谱

力谱成像


 

介电/压电性能

静电力显微镜(EFM)

动态接触式静电力显微镜(EFM-DC)

压电力显微镜(PFM)

高压压电力显微镜*


 

机械性能

力调制显微镜(FMM)

纳米压痕*

纳米刻蚀*

高压纳米刻蚀*

纳米操纵*



磁学特性*

磁力显微镜(MFM)

可调制磁力显微镜


   

电性能

导电原子力显微镜(C-AFM)*

IV谱线*

扫描开尔文探针显微镜(KPFM)

扫描电容显微镜(SCM)*

扫描电阻显微镜(SSRM)*

扫描隧道显微镜(STM)*

光电流测绘 (PCM)*


 

化学性能*

功能化探针的化学力显微镜

电化学显微镜(EC-AFM)

原子力显微镜选项温度控制

温控台 1

   -25 °C to +170 °C

温控台 2

   Ambient to +250 °C

温控台 3

   Ambient to +600 °C


 

液体池

通用液体池

有液体/气体灌注的开放式或封闭式液体池

控温范围: 0 °C to +110 °C (in air), 4 °C to +70 °C (with liquid)

电化学池

开放式液体池


液下探针柄

专为在一般液体环境中成像而设计

对大多数包括酸在内的缓冲溶液具有抗腐蚀性

可在液体中进行接触式和非接触式原子力显微镜成像

 

磁场发生器

施加平行于样品表面的外部磁场

可调磁场

Range : -300 ~ 300 gauss

由纯铁芯和两个电磁线圈组成


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 3-5人次系统操作/维护/保养培训
免费仪器保养: 不少于一次免费现场保养维护
保内维修承诺: 免费维修更换零件
报修承诺: 24小时响应,48解决相关问题或者具体维修解决方案
典型用户

用户单位

采购时间

采购数量

湖南大学

2017/11/11

1

东北电力大学

2017/08/11

1

陕西科技大学

2017/06/14

1

浙江大学

2017/07/04

2

天津大学

2018/07/03

1

问商家

Park 原子力扫描探针Park NX10的工作原理介绍

扫描探针Park NX10的使用方法?

Park 原子力Park NX10多少钱一台?

扫描探针Park NX10可以检测什么?

扫描探针Park NX10使用的注意事项?

Park 原子力Park NX10的说明书有吗?

Park 原子力扫描探针Park NX10的操作规程有吗?

Park 原子力扫描探针Park NX10报价含票含运吗?

Park 原子力Park NX10有现货吗?

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帕克网络讲堂:原子力显微镜测定力—距离曲线的原理和应用

1. 力和距离曲线在表面科学,纳米技术,生物科学 和许多其他研究领域中也扮演了非常重要角色。 2. 力和距离曲线是Park所有机台的默认配置,不需要 特殊的模块配合使用,但是很少人充分利用。 3. 操作简单,但是涉及的难点却很多。如探针的选择, 参数的设定,悬臂的校准等等。 4. 不仅有一般力和距离曲线,还包括液下力和距离曲 线,还有Park 推出的PinPoint模式也都是这个领域的 延伸。 5. 对于特殊材料进行力曲线分析,如细胞等样品,探 针的改良也是一种保护样品不被破坏的途径,并能够 让测量变成更容易的几何运算。它也是一种力曲线的分析难点之一。

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利用Park NX系统的全自动原子粒显微镜测量及分析

多年来,为了不断满足市场需求和同比更快更高效的设计,半导体元件尺寸已经达到甚至小于1X纳米节点。元件制造方法一直在提高,从2006年的65纳米达到了2014年的14纳米1X节点。国际半导体技术路线图目前预测第一个替代1X的7纳米元件或许会在2017年初次登场。[1]为了延续这样的速度,制造商必须有满足分辨率、精密度和精确度的计量要求的能力。满足这些需求的器械必须提供用于临界尺寸测量的纳米成像技术,测量结果可重复并且在大规模生产环境中能精确到提高生产力。[2] 为了应对这些挑战,通过Park系统,用原子力显微镜(AFM)工具和为自动采集和分析数据而特别定制的软件研发出一个引人注目的纳米测量方案。该软件被命名为Park XEA [3],设计这个软件的目的是为了让过程控制工程师使用AFM系统获得目标元件准确和可重复的纳米级图像,依据用户自定义的程序定制配套文件。相应的增加生产力,使这种结合的软件和硬件方案吸引各个圆片级元件制造工厂。

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2018/06/28

使用扫描电容显微术(SCM)和扫描开尔文探针显微术(SKPM)成像的半导体器件的电学表征

由于半导体器件(如晶体管、二极管以及集成电路)在电路系统中的重要性,半导体器件构成了现代电子学的基础。这些半导体器件应用广泛。最普遍的应用是设计和制造1)常见的模拟设备,如无线电广播设备以及2)数字电路,用于计算机硬件。[1]影响半导体器件性能的基本因素是主要的电参数,如掺杂剂浓度水平、载体类型以及缺陷密度。因此,评估半导体器件可靠性必须用到一种能够测量这些特征并研究纳米样品的技术。对于半导体器件来说,有好几种表征方法。例如,扫描电子显微镜检查法(SEM)、透射电子显微镜法(TEM)、二次离子质谱法(SIMS)、电子束诱生电流法(EBIC)以及一维电容电压测试法(C-V)等[2]。但是,一些方法具有破坏性,一些方法的样品制备要求很苛刻,还有一些仍然不能有效的测定子器件的二维量。这些缺陷的存在以及行业内开始盛行对半导体器件不断缩小的尺寸和高可靠性的要求,促进了对新一代表征工具的需要。为了解决半导体器件工艺计量中的这一新的难度,各种类型的扫描探针显微术(SPM)被用来迎接这一挑战。扫描电容显微术(SCM)和扫描开尔文探针显微术(SKPM)与原子力显微术(AFM)相结合是半导体器件表征最有力的方法,因为它们具有无损扫描能力,在测量纳米样品方面具有较高的精确度,且无需制备任何样品。此外,这些方法与原子力显微术(AFM)的结合,使得同时获取表面状态数据和电学性质数据成为可能,而且无需改变样品或探针尖端。为此,扫描电容显微术(SCM)和扫描开尔文探针显微术(SKPM)被用来探究静态随机存取储器(SRAM)器件,而且资料表明,这些技术是半导体器件电学性质表征的有效手段。

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2017/12/07

工商信息

企业名称

韩国帕克股份有限公司北京代表处

企业信息已认证

企业类型

代表处

信用代码

91110000MA01EU7K4B

成立日期

2018-09-25

注册资本

0元

经营范围

从事与隶属外国(地区)企业有关的非营利性业务活动

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