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解决方案

数字全息显微镜DHM检测分析MEMS陀螺仪谐振频率

应用领域

航空航天

检测样品

航空

检测项目

谐振频率
MEMS器件谐振频率测量常规方法是采用多普勒激光测振仪,主流激光多普勒测振仪测量面外运动精度为5pm,与DHM精度相仿;而DHM检测面内运动精度达到了1nm,远超MEMS激光测振仪的精度。

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瑞士lynceetec数字全息显微镜DHM

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