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核心参数
产地类别： 进口
仪器类别： 光学图形化缺陷检测设备
主要应用： 晶圆制程监控，出厂晶圆质量控制等
晶圆尺寸： 直径50-200 mm
产品名称：晶圆厚度/电阻率测试仪
品牌：E+H Metrology
型号：MX604-ST
关键词：电阻率，厚度
一、简介
德国 E+H Metrology，简称E+H，成立于1968年，位于德国卡尔斯鲁厄。E+H专注于半导体行业、微电子、机械工程等领域表面量测设备定制化开发。厚度和电阻率测量仪组合，MX604-ST配置了同时测量厚度和电阻率的传感器，用于2“ 至 200mm 的晶圆电阻率和厚度测量。
二、技术规格
晶圆尺寸：2" 至 8" （方形或近方形）
厚度范围：60 - 300µm 或 250 - 750µm
厚度精度：±1μm
传感器直径：20 毫米
有效区域直径：8 毫米
距边缘的距离：10 毫米
测量时间：0.3秒
软件：EHMaster
方块电阻：10-2000Ω/sq
电阻率范围：
0.25 – 50 Ohm•cm (thk.= 250μm)
0.75 – 150 Ohm•cm (thk. = 750μm)
三、应用
用于硅片及SiC等晶圆的厚度和电阻率测量。
E+H Metrology晶圆缺陷光学检测设备MX 604-ST的工作原理介绍
晶圆缺陷光学检测设备MX 604-ST的使用方法?
E+H MetrologyMX 604-ST多少钱一台?
晶圆缺陷光学检测设备MX 604-ST可以检测什么？
晶圆缺陷光学检测设备MX 604-ST使用的注意事项？
E+H MetrologyMX 604-ST的说明书有吗？
E+H Metrology晶圆缺陷光学检测设备MX 604-ST的操作规程有吗？
E+H Metrology晶圆缺陷光学检测设备MX 604-ST报价含票含运吗？
E+H MetrologyMX 604-ST有现货吗？
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企业名称
瞬渺科技（香港）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
2008-10-15
注册资本
266
经营范围
瞬渺科技（香港）有限公司
公司地址
上海市闵行区总部一号都会路2338弄122号楼
客服电话
公司名称： 瞬渺科技（香港）有限公司
公司地址： 上海市闵行区总部一号都会路2338弄122号楼 联系人： 上海办事处 邮编： 201108
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