核心参数
仪器种类: 原子力显微镜
产地类别: 进口
仪器类型: 材料型
定位检测噪声: X-Y≤0.15nm RMS 值,Z=35pmRMS,典型成像宽带(达到625Hz)
样品尺寸: 210mm直径,真空吸附,≤15mm 厚
样品台移动范围: 180mm × 150mm 可观测区域
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