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核心参数
产地类别： 进口
专为VUV 测量设计，整个系统处于真空状态，无氧气吸收。具备高度准确性的超快测量速度；快速样品室抽真空能力，方便快速更换样品；氮气消耗量少。
产品特点
50KHz 高频PEM 相位调制技术
45 秒内完成充氮气
2 分钟内完成样品室抽真空
8 分钟内完成光谱全谱范围内测量
两种工作模式：氮气清洗结合抽
真空、连续氮气清洗
光谱范围：147nm~850nm；147nm~2100nm
重点应用领域
超薄膜
157nm 光刻新材料
有机材料、高分子材料
高k 材料：HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
抗反射涂层
半导体和介电材料电子跃迁
MgF2、CaF2、LaF3
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企业名称
HORIBA （中国）
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(外国法人独资)
信用代码
91310115765992179P
成立日期
2004-08-26
注册资本
美元1180.0000万
经营范围
副量仪器、临家检验分析仪器及相美零备件、设新试制的批发销售、朝金代理(推卖除外),以及上述产品的维售。技术咨询等其他相关配套业务;上述货物及技术的进出口业务;(专及配转许可证管理,专项规定管营的商品技理国家有关规定办理);国际贸品、转口贸易、区内企业间的贸昌及区内置易代理区内京学中品工及餐品咨询服务区内商品展承;区内以各种副企仪器以及园疗器械为主的产品的仓储、办教业务及相美产品的维修,技术咨询,售品服务;制设仪器设备的经营性租赁;企业管理咨询,商务信息咨询;财务管理咨询;计算机系统集成、开发。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
HORIBA （中国）
公司地址
上海市天山西路1068号联强国际广场A栋1层D单元
客服电话
公司名称： HORIBA （中国）
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