电压校准仪原理

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电压校准仪原理相关的仪器

  • 电压校准系统 400-860-5168转2623
    约瑟夫森电压标准系统Josephson Voltage Standard System产品描述 SupraVOLTcontrol是一个形成于耶拿物理高科技研究所的三通道微处理控制的10V约瑟夫森电压标准(JVS)系统。 它使得各种直流电压校准和测量功能变得容易。 ● 二次电压标准的校准●校准电压表线性和精度(在电压范围0到± 10 V间) SupraVOLTcontrol包含以下组件: 1. 机械制冷机,带有10伏特SIS约瑟夫森结数组和安装 在19英寸机架上的75 GHz微波电子2. JVS控制电子装置3. 寻找微波计数器的EIP578B源4. 吉时利纳伏计当作零位探测器5. 三通道极性开关6. 反应温度、湿度和气压的传感器7. 带有IEEE界面的主机电脑8. 2 kW 输入功率的压缩机组,GPS 10 MHz 参考频率接收器规 格典型校准精度(与二次约瑟夫森电压标准相比较)± 5nV @ 10V &Delta V/V10V= 5x10-10二次电压标准精度的典型校准(受二次电压规格噪声限制)± 20 nV @ 1V &Delta V/V1V=2x10-8± 20 nV @ 1V &Delta V/V10V=2x10-8 电线和反向开关的热电压 10nV@ 所有三通道外部电压表的典型增益系数g(取决于电压表的类型)&Delta g/g 3 x10-7
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  • 干式流量校准仪ZML是新一代干式气体流量校准装置,采用近无摩擦原理和红外传感器,能快速准确的进行气体流量校准,在保持准确度前提下,同时解决皂膜流量校准仪的使用缺陷。干式流量校准仪ZML适用于中小气体流量的测量及相关流量测试仪的校准,属于一级流量计,可用于工业卫生、环保领域和各类实验室气体流量校准。用于检定大气类采样器流量的标准装置。特点:实用功能显示:3.5寸工业触摸屏三种测量方式:单次,多次,连续全自动加载功能(使用我司的全自动加载装置对采样器施加采样阻力并且阻力可设)全自动校准功能(使用我司带无线通讯功能的采样器可以和智能干式流量校准仪进行通讯获取流量进行全自动校准)测量流量显示曲线作图功能TYPE-C快充 最高支持28w快充干式测量原理,无需更换皂液,可连续自动测量系统功能支持WIFI、蓝牙功能SD数据导出功能USB数据导出功能两点快速校准功能显示功能:环境温度、大气压、工况流量、标况流量、平均值参数说明主要参数流量测量 0.005-0.5L/min0.02-6L/min0.1-10L/min1-35L/min流量精度 0.01ml/min重复性<±0.5%工作环境温度 0~45℃工作环境湿度 0-90%RH测量精度 ≤1%MTBF >2000h工作电压 电池供电连续工作时间 8h外形尺寸 (mm) 280*90*150(长*宽*高)仪器重量 约1.5kg
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电压校准仪原理相关的方案

电压校准仪原理相关的论坛

  • 【资料】仪器仪表常用的声级计校准方法

    仪器仪表常用的声级计校准方法有以下几种:1.活塞发生器校准法是一种现场常用的精确、可靠且简便的方法,主要适用于低频(几赫兹到几十赫兹)校准。其原理如图( 活塞式发生器)所示。电动机通过凸轮使两个对称的活塞作正弦移动,造成空腔中气体体积的变化,使腔内产生标准的正弦变化的声压,被校的传声器置于空腔的一端。2.扬声器校准法是更为简单而便宜的方法。用一个精确标定过的扬声器,在一个声耦合空腔中产生1000Hz的精确给定声压级的声压,作为作用于传声器振膜的标准信号。3.互易校准法适用于中频范围可听声的传声器校准。该方法准确度高,在声学测量实验室中普遍采用。4.静电激励校准法适用于较高频率的扬声器校准。它是将一个绝缘的栅状金属板置于传声器振膜之前,并使两者之间的距离尽量小。在栅状金属板和振膜之间加上高达800V的直流电压使两金属板极化,使两者之间产生稳定的静电力。另外再加上30V左右的交流电压使两者之间产生等于1Pa的声压交变力。直流、交流电压的作用原理与电磁激振器类似。5.置换法是用一个已知频率响应的精确基准声计级与待校声级计分别测量同一声压,从两声级计测量结果的差别确定待校声级计的频率响应。

  • 标准物质在仪器校准中应用的一般原理

    标准物质在仪器校准中应用的一般原理 在使用仪器方法进行化学成分分析时,目标量即特定基体中特定(被)分析物的含量,通常不是直接测量得到的,而是通过测量仪器的响应并将其转换为(被)分析物的含量。为确定仪器的响应与(被)分析物含量之间的关系,就需在整个量程范围内,测定(被)分析物含量已知的 标准物质 (校准物质或样品)的仪器响应。然后,比较测得的响应与(被)分析物含量参考值(认定值),导H{响应曲线的参数(如直线的斜率和截距),包括这些参数的不确定度。通过使用这些数据,可以从测得的响应推算出未知样品中的(被)分析物含量,同时也可从所测响应的不确定度和响应曲线参数的不确定度推算出(被)分析物含量的不确定度。ISO 11095(使用标准物质的线性校准)给出了使用标准物质设计校准实验以及在校准曲线是直线的情况下对常见个案的校准数据评价的一般描述。 现代仪器分析方法具有低检测限、高专一性、高精密度以及自动进样等很多优点,但在大多数情况下,仪器的输出信号(峰面积、计数、毫伏等)与被分析物的测量值(克、摩尔等)之间的关系是来自于某种经验公式。一般情况下,还没有经过详细研究的物理或化学理论来精确地描述被分析物的量与信号强度之间存在的某种关系。因此,测试样品中的被分析物的量无法用物理的或化学的基本原理准确测得。大多数分析测试仪器基于实验观测,仪器信号与被分析物的量存在下列函数关系 信号强度一K×(被分析物的量)” 仪器信号强度与被分析物的量之间常常是线性关系,n=1。由于没有合适的物理或化学理论支撑这些分析测量仪器的基本操作,上述公式中的比例常数K通常是未知的。 在这种情况下,实际分析测量工作中就有必要通过被分析物含量准确已知的特殊样品(通常为有证标准物质或校准物质)来校准仪器的输出信号。通过比较用校准物质获得的信号与测试样品获得的信号,并由下列公式计算测量样品中被分析物的量 样品中被分析物的量一蒺器×校准物中被分析物的量 当分析仪器信号随被分析物的量呈线性变化(即n一1)时,可以用该公式计算样品中被分析物含量。显然,当校准物质或样品和测试样品的n和K值都相同时,用以上公式计算测试样品中被分析物量的有效性取决于,z和K的值。换句话说,分析仪器对被分析物和校准物质的响应的程度必须相同。只有这样才能进行有效的比较,否则校准物质所产生的的信号与测试样品所产生的信号不具有可比性。如果仍然采用上述方法计量被分析物的量,就会产生错误的分析测量结果。因此,我们必须确定仪器的校准条件能适用于要分析测试的样品,正确选择和使用适当的分析仪器校准用有证标准物质(CRM)。 通常由于大多数分析测量样品的基体与校准用标准物质的基体存在着很大的差异,因此,由校准过程导出的不确定度估算一般是不全面的。所以,还必须另外使用与被测样品基体相匹配校准样品来测定,并最终修正由于校准中基体不匹配所引起的偏差。原则上讲,基体匹配的标准物质已经用于校准实践,但实际上只是在一些特定的领域应用较多,如气体分析领域中使用。很多情况下,人们使用由纯物质制备而得的校准溶液进行来校准分析仪器,并且使用基体匹配的标准物质来研究考察基体效应引起的偏差。这种状况甚至使一些分析测量工作者产生了一种错误看法,他们认为基体标准物质不能用于校准,而只能用于质量控制。 校准是建立溯源性的最根本的过程。只有通过校准,才能在实践中获得对适当参考标准的溯源性。 本文参考了国家标准物质网资料中心的相关资料

电压校准仪原理相关的耗材

  • TYDEX Golay探测器校准套件GC-CS
    Golay探测器校准套件GC-CS使用Golay探测器的大量工作经验证明,如果需要zui准确的jue对测量,则有必要在使用前直接获得用于校准和验证探测器的仪器。Golay检测器的工作原理基于通过薄膜吸收的辐射加热气体的物理过程。该过程的效率可以根据环境条件(例如不稳定的温度)而变化。它对探测器的响应有影响。长期使用该装置可能会使薄膜(在接收室内)伸展 它也会影响参数和测量结果。综上所述,制造商测量的电压 - 功率曲线不能完全依赖于确定校准系数。zui好的解决方案是在测量之前直接在用户的实验室对Golay探测器进行校准。这是GC-CS Golay检测器校准装置的目的。GC-CS Golay检测器校准装置是一套用于检测器现场性能验证,稳定性评估和校准系数调整的设备。校准装置为Golay Detector在整个使用寿命期间达到jue对测量的zui大精度提供了环境。该装置的关键组件是一个高度稳定的热源,再现辐射温度100°C。技术规格:由辐射源再现的温度,°C100辐射源的jue对置信度限制为95%置信度,°C±1设定温度附近的温度变化,°C,不超过±0.1辐射源温度漂移@ 15分钟,°C,不超过±0.1辐射源输出孔径,mm60±2电源电压Vfrom 90 to 230电源频率,Hz50±0,5电力需求,W,不超过100环境压力范围,毫米汞柱760 ÷ 10-3操作和存储温度,°C15 ÷ 25湿度,%40 ÷ 80辐射源尺寸,毫米260 x 180 x 120辐射源质量,kg2,5
  • 牛奶冰点测定仪校准液/校正液B 7166
    牛奶冰点测定仪校准液/校正液B 7166 主要用于给牛奶冰点仪进行B液校准。德国Funke Gerber牛奶冰点测定仪,进口Funke Gerber牛奶冰点测定仪,一、牛奶冰点仪的构成冷却循环系统(针对仪器的循环)检测探头(玻璃温度探头)检测系统牛奶冰点测定仪校准液/校正液B 7166货号: 7165 牛奶冰点仪校正液A(0.000℃),250ml / 瓶货号: 7167 样品管(规格:2.0mL), 50支/盒货号: 7169 冷冻液 500ml / 瓶二、牛奶冰点仪测定仪的原理冰点仪是用来准确检测牛奶中加水的情况,由于牛奶中溶解了脂肪、蛋白质等各种成份,所以冰点比水低,正常牛奶冰点平均为-0.530℃,而水的冰点是0℃,牛奶中若加水,则整个样品的冰点则上升,正常情况下掺水1%,混合样品的冰点大约升高0.0053℃,当掺水100%时,温度升高时0.530℃,这时仪器显示出的冰点温度为0℃,而显示掺水就是100%。冰点仪就是利用温度探头把混合样品的冰点的温度测出来,利用仪器内部的计算公式把牛奶样品中掺水的百分比得出来的。三、技术规格检测速度:40个样品/小时,1.5分钟/次 测量范围:0.000℃~-1.500℃检样量:2.0-2.5ml(2.2ml) 精确度:0.0001℃结果报告:冰点曲线、冰点值、掺水百分比、时间、日期牛奶冰点测定仪校准液/校正液B 7166长期现货供应
  • 实验仪器校准
    华品计量仪器校准公司欢迎来电咨询主要从事:质量传递和对称重仪器的检定与校准。现开展的项目有:标准砝码(E2等级及以下,可测量能力:1 t)、各种砝码、电子天平、机械天平、质量比较器、架盘天平、扭力天平、液体比重天平、汽车(摩托车)轴(轮)重仪、标准测力杠杆、电子秤、大型电子汽车衡(可测量能力:200 t)、电子皮带秤、定量包装秤、定量自动衡器、核子秤、机械秤、其他称重设备等。东莞仪器校准检测服务机构,第三方仪器校准机构,找华品计量检测有限公司,华品计量检测出具的检测报告通用认可。资质齐全的机构出具的报告才是有效用,无资质或是资质不齐全的机构出具的检测报告都是无效的,不可用于审厂,检查认证的。能力范围具备几大计量领域(无线电、电磁、几何量、 热工、力学、时间频率、声学、光学、化学和电离辐射)的一千多个认可项目的计量及检测能力。拥有严格计量标准和精密仪器多台套。仪器校准公司服务范围:化学类仪器校准:光泽度计、光密度计、移液器、玻璃量具、RoHS检测仪、气相色谱-质谱联用仪(GC-MS)、液相色谱-质谱联用仪(LC-MS)等。几何量类仪器校准:卡尺类、指示表类、千分尺类、角度规、水平仪、水平仪、平板、平尺、平晶、激光径孔仪、光学计、投影仪、测长机、显微镜、影像测量仪、二次元等。力学类仪器校准:材料试验机、电子式试验机、机械式拉力表、工作测力仪、张拉机(千斤顶)、扭矩扳子检定仪、扭矩扳子、各种硬度计等。热工类仪器校准:数字温度计、恒温箱、恒温恒湿箱(房)、各类培养箱、干燥箱、养护箱(室)、老化箱(房)、快煮箱、盐雾试验箱、交变试验箱、环境试验箱等。电学类仪器校准:静电离子风机、手机综合测试仪、网络分析仪、电能(功率)质量分析仪、谐波分析仪、功率表(计)、静电场强(电压)表、表面电阻测试仪等。技术优势根据校准情况提供实测值使用、限用等报告。提供验厂报告证书,可查询、方便保存。进口高准确度标准器测量稳定,实现测量标准化、溯源化。具有稳定的校准队伍,高水平、严谨的工作作风和丰富的校准经验。校准参数齐全。为行业提供全面定制化服务。智能办公系统,证书出具速度2个工作日,降低录入出错率。服务优势实验室仪器校准综合实力强 一站式服务:通过强大的仪器设备全生命周期服务,广阔的项目覆盖范围和全面服务网络布局,充分实现跨地区、跨部门、跨领域协作服务,共享资源,满足您“一站到底”、“整体解决”的需求。便捷服务 各地网点:服务范围覆盖全面,服务网点遍布20多个城市,就近提供服务,便捷,节约您的成本。个性化定制 服务:为您量身定制个性化技术解决方案(服务、技术、证书); 凭借多年积累的技术经验及稳定的人才队伍,有足够实力、 资质可以提供多维度的复杂综合系统解决方案。快速响应 查询方便:30分钟内响应您的询价;2个工作日出具证书;方便查询保存。智慧计量 可靠:运用信息化手段,提高了服务全过程的质量和效率: 仪器设备自动化校准、智能工作平台、标签、仪器人员等资源的动态调度。行业服务 深度聚焦:拥有丰富的行业服务技术经验,合作客户超万家, 涵盖了信息技术、航空航天、汽车及零配件、机械制造、轨道交通、电力、医疗卫生、生物制药、能源等行业。维修维保1、以修复仪器并达到原厂技术指标或客户要求为目标,用规范的流程和校准确保服务质量和维修质量,并获得修理计量器具许可证。2、具备电磁、无线电类常规仪器、环境试验设备的维修能力,基本具备对手机综测仪、频谱分析仪、网络分析仪、信号源等无线电类仪器和电磁兼容测试仪器的维修能力。3、具备良好的静电防护条件和措施(防静电地板、防静电操作台、防静电服、防静电手腕、防静电接地系统等),并拥有多台套计量检测仪器以及深圳市华品计量检测有限公司强大支持,为各种仪器维修提供强有力的技术和质量。4、与多家国外仪器制造厂商就仪器维修进行多种形式的合作。如:成立了维修站,广州B & K技术服务部、德士(Texio)仪器广州维修、目黑电波(MEGURO)广州仪器维修等。5、拥有一支综合素质高、维修能力强的技术团队,其中有5年以上仪器和设备维修经验的工程师10名,有10年以上仪器维修经验的工程师6名。实验室地址:广东省深圳市光明新区公常路837号天浩商务

电压校准仪原理相关的资料

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  • 河南研发“无线传输分体式PCR检测仪校准装置” 为战“疫”增添利器
    在感染性疾病的诊断方面PCR技术在感染性疾病中尤其适用于检测一些培养周期长或缺乏稳定可靠检测手段的病原体。PCR的模板可以是DNA,也可以是RNA。模板的取材主要依据PCR的扩增对象,可以是病原体标本如病毒、细菌、真菌等。标本处理的基本要求是除去杂质,并部分纯化标本中的核酸。多数样品需要经过SDS和蛋白酶K处理。难以破碎的细菌,可用溶菌酶加EDTA处理。所得到的粗制DNA,经酚、氯仿抽提纯化,再用乙醇沉淀后用作PCR反应模板。PCR检测仪是用于新冠病毒核酸检测的关键设备,核酸检测是根据病毒的基因序列配制出相对应的引物和探针,利用PCR检测仪对待测样本进行扩增。近日,河南计量院研制出无线传输分体式PCR检测仪校准装置,基于自行设计的多通道温度检测模块,应用无线传输技术实现数据采集分析,设计指标满足《JJF 1527-2015 聚合酶链反应分析仪校准规范》的要求。只需将该装置的检测模块置入待校准的PCR检测仪中,工作人员无需进入实验室内部,即可对仪器进行校准,不但能够节约PCR检测实验室的管理运行成本和宝贵的防护资源,还能极大降低计量人员本身的感染风险,具有较好的推广应用价值。 无线传输是利用无线技术进行数据传输的一种方式。无线传输和有线传输是对应的。随着无线技术的日益发展,无线传输技术应用越来越被各行各业所接受。无线图像传输作为一个特殊使用方式也逐渐被广大用户看好。其安装方便、灵活性强、性价比高等特性使得更多行业的监控系统采用无线传输方式,建立被监控点和监控中心之间的连接。无线传输分为:1、模拟微波传输就是把视频信号直接调制在微波的信道上(微波发射机,HD-630),通过天线(HD-1300LXB)发射出去,监控中心通过天线接收微波信号,然后再通过微波接收机解调出原来的视频信号。2、数字微波传输就是先把视频编码压缩(HD-6001D),然后通过数字微波(HD-9500)信道调制,再通过天线发射出去,接收端则相反,天线接收信号,微波解扩,视频解压缩,临了还原模拟的视频信号,也可微波解扩后通过电脑安装相应的解码软件,用电脑软解压视频,而且电脑还支持录像,回放,管理,云镜控制,报警控制等功能;存储服务器,配合磁盘阵列存储;这种监控方式图像有720*576、352*288或更高的的分辨率选择,通过解码的存储方式,视频有0.2-0.8秒左右的延时。数据采集分析过软硬件结合,可以记录、显示和分析众多生命科学相关信号,可以完全代替传统的纸带记录仪、绘图仪、XY绘图仪、示波器和电压计。把信号变成便于数字处理的形式,以减少数字处理的困难。无论计算机的容量和计算速度有多大,其处理的数据长度总是有限的,所以要把长时间的序列截断。在截断时,会引入一些误差,所以有时要对截取的数字序列加权,如有必要,还可用专门的程序进行数字滤波。然后把所得到的有限长的时间序列按照给定的程序进行运算。例如作时域中的概率统计、相关分析,频域中的频谱分析、功率谱分析、传递函数分析等。数据采集分析应用领域包括:血流动力学、离体组织灌流、离体器官、灌流、微血管张力测定系统、微循环血流测定(激光多普勒)、新陈代谢研究(运动生理学、心肺功能测定)、电生理系统(细胞内、细胞外、电压钳)、超声血流量测定、植入式生理信号(血压、生物电、神经干放电、体温等)无线遥测、心理学、清醒动物血氧饱和度测定、人体无创血压、心输出量测定。PCR检测仪是利用聚合酶链反应技术对特定DNA扩增的一种仪器设备,PCR技术的原理类似于DNA的天然复制过程,其特异性依赖于靶序列两端互补的寡核苷酸引物,由变性-退火-延伸三个基本反应步骤构成。PCR的三个反应步骤反复进行,使DNA扩增量呈指数上升。反应最终的DNA扩增量可用y=(1+X)n计算。Y代表DNA片段扩增后的拷贝数,X表示平均每次的扩增效率,n代表循环次数。平均扩增效率的理论值为百分百,实际反应初期,靶序列DNA片段的增加呈指数形式,随着PCR产物的逐渐积累,被扩增的DNA片段不再呈指数增加,而进入线性增长期或静止期,即出现“停滞效应”,使平均效率达不到理论值。PCR扩增仪通常由热盖部件、热循环部件、传动部件、控制部件和电源部件等部分组成。被广泛运用于医学、生物学实验室中,例如用于判断检体中是否会表现某遗传疾病的图谱、传染病的诊断、基因复制以及亲子鉴定等。PCR检测仪分类PCR仪分为普通PCR仪,梯度PCR仪,原位PCR仪,实时荧光定量PCR仪四类。荧光定量PCR仪光学校准方法实时荧光定量PCR仪特异性更强,自动化程度更高,且有效地解决了PCR污染的问题,应用领域及应用量都不断增加。但其设计更为复杂,温度模块和光学系统设计同时影响其性能和实验准确性,为定量PCR仪校准带来了巨大挑战。采用生物试剂等方式对定量PCR仪荧光部分校准缺乏溯源性,无法分析误差来源,存在较大缺陷。采用Cyclertest 3D optical定量PCR仪光学校准系统对ABI 7500 Fast Real-Time定量PCR仪的温场部分和荧光系统进行了检测并对检测结果进行了分析,结果表明对温度模块和光学系统共同进行检测并分析相关性能够更科学全面地评估定量PCR仪性能,满足定量PCR仪校准需求。
  • 先进简单的多功能过程校准器
    Allerød, Denmark –过程信号在各个行业中都是至关重要的,从控制阀、开关或灯,到测量管道中的压力,再到校准烘焙烤箱中的温度。随着如此重要的参数被广泛使用,确保这些过程信号保持准确是至关重要的。用户对他们使用的校准设备有多种选择,但最重要的因素之一是易用性。因为可能会使用多个过程信号,包括伏特、毫伏、安培或毫安,而每一个都可能有很大的量程差异,大多数用户转向多功能校准以满足所有情况。然而,随着期权的增加,该工具的复杂性也趋于增加。对于新手来说,看似简单的连接接线任务可能都是困难的。JOFRA ASC-400 先进的校准仪具有连接助手的功能。ASC-400现在包括一个内置的帮助功能,提供了一个图形解决方案,根据当前设置提供精确的连接图示。如果测量参数发生变化(例如从V变为mA),连接辅助界面也会发生变化。使用新功能可以显著减少错误和浪费时间。ASC-400多功能过程校验仪读取和输出RTD,热电偶,电流,电压,频率,电阻,脉冲序列等信号。它整合了诸如百分比误差计算、缩放、泄漏测试和开关测试校准等功能到一个手持校准器。大型全彩显示器、带有光标的数字小键盘和功能键有助于简化使用。ASC-400结合APM CPF压力模块实现压力校准. ASC-400结合Jofra干体炉实现温度校准。关于AMETEK STC and JOFRA AMETEK STC 在JOFRA和Crystal品牌下制造和供应温度、压力和过程信号的校准仪器。JOFRA温度校准器以其准确性、稳定性和可靠性闻名于世。
  • 专家约稿|压电力显微术的基本技术原理与使用注意事项
    原子力显微术(AFM)作为一种表征手段,已成功应用于研究各个领域的表面结构和性质。随着人们对多功能和更高精度的需求,原子力显微技术得到了快速发展。目前,原子力显微镜针对不同的研究对象,搭配特定的应用功能模块可以研究材料的力学、电学以及磁学等特性。其中压电力显微术(PFM)已被广泛应用于研究压电材料中的压电性和铁电性。1. 压电材料与铁电材料压电材料具有压电效应,从宏观角度来看,是机械能与电能的相互转换的实现。当对压电材料施加外力时,内部产生极化现象,表面两侧表现出相反的电荷,此过程将机械能转化为电能,为正压电效应。与之相反,若给压电材料的施加电场,材料会产生膨胀或收缩的形变,此过程将电能转化为机械能,为逆压电效应。铁电材料同时具备铁电性和压电性。铁电性指在一定温度范围内材料会产生自发极化。铁电体晶格中的正负电荷中心不重合,没有外加电场时也具有电偶极矩,并且其自发极化可以在外电场作用下改变方向。并非所有的压电材料都具有铁电性,例如压电薄膜 ZnO。压电铁电材料广泛应用于压电制动器、压电传感器系统等各个领域,与我们的生活息息相关,还应用于具有原子分辨率的科学仪器技术,例如在原子力显微镜中扫描的精度在很大程度上取决于内部压电陶瓷管扫描器的性能。2. PFM工作原理原子力显微镜是一种表面表征工具,通过检测针尖与样品间不同的相互作用力来研究样品表面的不同结构和性质。针尖由悬臂固定,激光打在悬臂的背面反射到位置敏感光电二极管上,由于针尖样品间作用力发生变化会使悬臂产生相应的形变,激光光束的位置会有所偏移,通过检测光斑的变化可获得样品的表面形貌信息。 图1 压电力显微术工作原理PFM测量中导电针尖与样品表面接触,样品需提前转移到导电衬底上,施加电压时可在针尖在样品间形成垂直电场。为检测样品的压电响应,在两者之间施加AC交流电场,由于逆压电效应,样品会出现周期性的形变。当施加电场与样品的极化方向相同时,样品会产生膨胀,反之,当施加电场与样品的极化方向相反时,样品会收缩。由于样品与针尖接触,悬臂会随着样品表面周期性振荡发生形变,悬臂挠度的变化量与样品电畴的膨胀或收缩量直接相关,被AFM锁相放大器提取,获得样品的压电响应信号。3. PFM的测量模式图2 压电力显微术的三种测量模式PFM目前有三种测量模式,分别为常规的压电力显微术、接触共振压电力显微术和双频共振追踪压电力显微术。常规的压电力显微术在测量过程中针尖的振动频率远小于其自由共振频率,将其称为Off-resonance PFM。这种模式得到的压电信号通常较小,一般需要施加更高的电压,通常薄层材料的矫顽场较小,有可能会改变样品本身的极性,不利于薄层材料压电响应的测量,存在一定的局限性。此时获得的振幅值正比于压电系数,利用针尖的灵敏度可直接将振幅得到的PFM 信号转换为样品的表面位移信息,获得材料的压电系数。接触共振的压电力显微术测量称其为contact-resonance PFM,可以有效放大信号,针尖的振动频率为针尖与样品接触时的接触共振频率,一般是针尖自由共振频率的3-5倍。此时无需施加很高的外场就能得到较强的PFM信号,不会改变样品的极化方向。此时测得 PFM 压电响应信号比常规FPM测量的响应信号幅值放大了 Q 倍(Q为共振峰品质因子),计算压电系数时需考虑放大的倍数。但此技术也存在一定的局限性,针尖的接触共振频率是在某一位置获得的,接触共振频率取决于此位置的局部刚度。在扫描的过程中,针尖与样品之间的接触面积会发生变化,引起接触共振频率的变化,若以单一的接触共振频率为针尖的振动频率会使得信号不稳定,测得的振幅信号在共振频率处放大,其余地方信号较弱,极大的影响压电系数的定量分析,得到与理论值不符的压电系数。与此同时PFM信号易与形貌信号耦合,产生串扰。双频共振追踪压电力显微术(DART-PFM)可以有效避免压电信号与形貌的串扰。在这项技术中,通过两个锁相放大器分别给针尖施加在接触共振峰两侧同一振幅位置的频率,当接触共振频率变化时,振幅会随之变化,锁相放大器中的反馈系统会通过调节激励频率消除振幅的变化,由此获得清晰的形貌和压电信号。此时在量化压电系数时需要额外的校准步骤确定振幅转化为距离单位的值,目前一般是通过三维简谐振动模型去校准修订得到压电材料的压电系数。 4. PFM的表征与应用PFM测量中可获得样品的振幅和相位图。图中相位的对比度反映样品相对于垂直电场的极化方向,振幅信息显示极化的大小以及畴壁的位置。一般来说,材料的压电响应是矢量,具有三维空间分布,可分为平行和垂直于施加外场的两个分量。图3 BFO样品的PFM表征图[1]若样品只存在与电场方向平行的极化响应,PFM所获得的振幅和相位信息可直接反映样品形变的大小和方向,若样品畴极化方向与外加电场相同,相位φ=0;若样品畴极化方向与外加电场相反,则相位φ=180°。此时垂直方向的压电响应常数可直接由获得的振幅与施加的外场计算出来,在共振频率下可以定量测量。值得说明的是,PFM获得的压电响应常数很难与块体材料相比较,因为样品在纳米尺度的性质会与块体材料有显著的不同。若样品具有平行和垂直于电场的压电响应,在施加电场时,样品的形变出现面内和面外两个方向。利用Vector PFM可以同时获得悬臂的垂直和横向位移,可以将得到的信号矢量叠加,获得样品的三维PFM图像。压电力显微术不仅可以成像,还能用于研究铁电材料的电滞回线,并且可以对铁电材料进行写畴。铁电材料的相位和振幅与施加的电压呈函数关系,测得的电滞回线和蝴蝶曲线可以用于判断铁电材料的矫顽场,矫顽场是铁电材料发生畴极化反转时的外加电压。一般的电滞回线的获取需要施加大于±10V的直流偏压,但值得注意的是较高的直流电压会增加针尖与样品间的静电力贡献,静电力信号有可能超过压电响应信号,从而掩盖畴极化反转信号。图4 SS-PFM的工作原理图开关谱学压电力显微术(SS-PFM)可以有效减小静电力的影响,原理如图4所示与普通PFM在测量电滞回线时线性施加DC电压的方式不同,SS-PFM将DC电压以脉冲的形式初步增加或减小,每隔一定的时间开启和关闭DC电压,并且持续施加AC交流电。其中DC用于改变样品的极化,AC交流电用于记录DC电压接通和关闭时的压电信号。图为研究二维异质材料MoS2/WS2压电性能时利用SS-PFM测得的材料特性曲线。 图5 二维异质材料MoS2/WS2的材料特性曲线[2]铁电材料与普通压电材料最大不同是在没有外加电场时也具有电偶极矩,并且其自发极化可以在外电场作用下改变方向,因此可利用是否能够写畴来区分铁电材料。知道压电材料的矫顽场之后可以对样品进行局部极化样品进行写畴,畴区可以自定义,正方形、周期阵列型或者更加复杂的图案。最简单的写畴是先选择一10×10μm正方形区域,其中6×6μm区域施加正偏压,4×4μ区域施加负偏压,获得回字形写畴区域,在相位图中可以清晰的看到所写畴区。图6 Si掺杂HfO2样品的回字形写畴区域[3]5. 注意事项在PFM测量中首先要保证在样品处于电场之中,在样品的前期准备时需将样品转移至导电衬底,并确定针尖和放置样品的底座可以施加电信号,此时才能保证施加电压时在针尖在样品间具有垂直电场。在PFM测量中静电效应的影响也不容忽略,导电针尖电压的电荷注入可诱导静电效应并影响材料的压电响应,导致PFM振幅和相位信息与特性曲线失真。尽管静电效应在 PFM 测试中无可避免,但可以使用弹簧常数较大的探针或者施加直流偏压来尽量减小其中的静电影响。此外针尖的磨损也会极大的影响PFM测量。由于针尖与样品间相互接触,加载力不宜过高,过高会损坏样品表面,保持恒定适中的加载力。此外使用较软的针尖在扫描过程中可以保护针尖不受磨损,并且保护样品。PFM测量中常用的针尖为PtSi涂层的导电针尖,以获得较稳定的PFM信号。参考文献[1] HERMES I M, STOMP R. Stabilizing the piezoresponse for accurate and crosstalk-free ferroelectric domain characterization via dual frequency resonance tracking, F, 2020 [C].[2] LV JIN W. Ferroelectricity in untwisted heterobilayers of transition metal dichalcogenides [J]. Science (New York, NY), 2022, 376: 973-8.[3] MARTIN D, MüLLER J, SCHENK T, et al. Ferroelectricity in Si-doped HfO2 revealed: a binary lead-free ferroelectric [J]. Adv Mater, 2014, 26(48): 8198-202.作者简介米烁:中国人民大学物理学系在读博士研究生,专业为凝聚态物理,主要研究方向为低维功能材料的原子力探针显微学研究。程志海:中国人民大学物理学系教授,博士生导师。2007年,在中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室,获凝聚态物理博士学位。2011年-2017年,在国家纳米科学中心纳米标准与检测重点实验室,任副研究员/研究员。曾获中国科学院“引进杰出技术人才计划”和首届“卓越青年科学家”、卢嘉锡青年人才奖等。目前,主要工作集中在先进原子力探针显微技术及其在低维量子材料与表界面物理等领域的应用基础研究。
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