如何获得质量更高的扫描电镜样品

讲师：周雨萌

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课程基本信息

课程类型：精品课
课程有效期：购买后24个月
课程节数：1节
课程分类：其他|其他

周雨萌

2020年12月在大连理工大学分析测试中心工作至今

电镜制样过常常会对表征结果的真实性带来影响。在拍电镜的过程中可能会遇到：想要拍EBSD时由于样品表面划痕、应力过多而造成解析率较低；想拍截面时，剪刀等工具会造成界面变形、污染、膜层界面不清晰等等从而影响结果。为此我们介绍一种前处理制样设备——氩离子抛光仪，可以有效地消除划痕，减小应力损伤，氧化、污染、变形的可能性，制备得到高质量的平整表面。同时可控的低温还可以用来抛光一些敏感材料。

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