仪器信息网 3i讲堂雷尼绍拉曼光谱技术的发展及其在半导体材料分析中的应用

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213 2022-12-26

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雷尼绍拉曼光谱技术的发展及其在半导体材料分析中的应用

所属会议:第三届半导体材料与器件研究与应用网络会议

话题:半导体

半导体材料和器件的性能及稳定性往往与材料本身的性质联系在一起，包括材料应力、缺陷、杂质、载流子浓度还有温度响应等等。拉曼光谱检测可以获得以上半导体材料的性质，并且拉曼光谱还具有速度快、无需制样、无损伤等表征优势，可以同时获得静态及动态变化中的结构信息，已经成为半导体材料表征和器件测试的一个重要手段。本次报告主要介绍雷尼绍拉曼技术在半导体领域的应用方向和相关案例，同时分享适用于半导体领域的拉曼技术的发展和应用。