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仪器信息网 3i讲堂 海洋光学微型光谱仪在半导体领域的应用
0 2 投诉 分享 177 2022-12-26
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海洋光学微型光谱仪在半导体领域的应用

介绍海洋光学公司及工业客户合作模式,并分享海洋光学微型光谱仪在半导体膜厚测量, PECVD过程监控,Plasma Etching终点指示以及 Plasma Cleaning过程监控中的原理及应用。

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