仪器信息网 3i讲堂海洋光学微型光谱仪在半导体领域的应用

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177 2022-12-26

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介绍海洋光学公司及工业客户合作模式，并分享海洋光学微型光谱仪在半导体膜厚测量， PECVD过程监控，Plasma Etching终点指示以及 Plasma Cleaning过程监控中的原理及应用。

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蔚海光学仪器（上海）有限公司

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