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如何利用背散射电子收集最多的信息

会议时间: 2016-12-13 14:00

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摘要：

通过使用特定能量的电子束轰击样品表面，搜集产生的背散射电子和二次电子，这是扫描电子显微镜最重要的信号来源。

背散射电子来源于入射电子束与样品表面相互作用时，弹性散射过程所产生的高能电子。其有不同的种类，如经典的卢瑟福背散射电子、通道效应背散射电子以及低能损背散射电子。借助于蔡司专利的双子座镜筒技术，我们能够区分不同种类的背散射电子，从样品中获取最大量的信息。

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