#真空泵

在光伏电池制造的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）和LPCVD（低压化学气相沉积）镀膜环节中，真空环境的洁净度与抽速稳定性直接影响薄膜均匀性和电池转换效率。工艺过程中产生的大量水蒸气和反应副产物对真空泵的耐受能力提出了较高要求。 NeoDry30G作为Kashiyama NeoDry G系列的中端机型，抽速为500 L/min，极限压力1.0 Pa，标配气镇机构的水蒸气处理量为275 g/h。多级罗茨干式结构无需油类润滑介质，从原理上减少了油蒸气对工艺腔体造成污染的可能性，这一特性在PECVD工艺中尤为重要，因为油蒸气污染可能导致氮化硅或氧化铝钝化膜的均匀性下降，进而影响电池片的钝化效果。 在实际应用层面，已有一项针对光伏PECVD/LPCVD镀膜工艺的系统验证方案，采用NeoDry系列干式罗茨真空泵作为主泵，配合管式PECVD镀膜系统进行氮化硅/氧化铝钝化膜沉积，以及管式LPCVD系统进行本征多晶硅层沉积。方案通过连续运行测试，对泵体在水蒸气耐受性、颗粒控制、抽速稳定性及能耗表现等方面的表现进行了评估。测试使用全量程真空计（测量范围1×10⁻³ Pa ~ 1×10⁵ Pa）实时监测腔体真空度，通过残余气体分析仪分析腔体残留气体成分及水蒸气分压，并采用椭圆偏振仪测量薄膜厚度、折射率及均匀性，通过微波光电导衰减法测试钝化效果。经连续运行测试，泵体在上述各维度均达到量产标准，为光伏产线提供了可参考的无油真空解决方案。 满足日常使用 个性化服务 易安装 性能卓越 个性化服务

Ins_dde11631

2026-09-28

#真空泵

洁净真空为药品安全护航：NeoDry30G干式罗茨泵在冻干工艺中的应用观察 生物制药冻干工艺对真空环境的核心诉求集中在洁净度与运行稳定性两个维度。传统油封真空泵在运行过程中产生的油蒸气返流，可能对药品活性成分造成污染，这一直是制药企业冻干工艺中需要审慎应对的问题。 NeoDry30G无油干式罗茨真空泵采用多级罗茨干式结构，无需油类润滑介质，从源头减少了油蒸气进入真空系统的可能性。该型号抽速为500 L/min，极限压力可达1.0 Pa，在极限压力工况下功耗约0.34 kW，无负荷运行噪音值约45 dB(A)，振动值控制在≤8 μm p-p。其标准配置的气镇机构使水蒸气处理量达到275 g/h，较系列老款机型的水蒸气处理效率提升约10%，有助于高效排出可凝性气体，降低水汽在泵内凝结对部件造成损耗的风险。 在生物制药领域的实际应用中，依据《中国药典》2025年版冷冻干燥技术指导原则，采用NeoDry30G配套冻干机的工艺方案已在实际运行中积累了应用数据。该方案中气镇结构处理水蒸气能力达275 g/h，冻干周期较原方案缩短约18%，活性成分保留率可达96%以上，为生物制药冻干工艺提供了一种高洁净度的真空方案选择。该方案在冻干面积为1.0 m²、板层控温范围-50~+60℃的冻干设备上完成验证，采用注射用重组人促红素（EPO）作为检测样品，经高效液相色谱仪和卡尔费休水分测定仪进行质量分析。 从设备适配性来看，NeoDry30G重量约24 kg，外形尺寸为410×210×219 mm，吸气口径为NW40，支持单相AC100-240V宽输入电源，便于在实验室及中试规模的冻干设备旁进行安装部署。设备搭载RS485通讯接口，为工艺参数的数字化监控与记录提供便利。 需要说明的是，以上数据为特定工况条件下的实测结果，实际使用表现可能因工艺条件、配置方案等因素有所差异。 分辨率高 维修效率高 配置灵活 节省空间

Ins_dde11631

2026-09-28

#真空泵

在电池电极干燥与真空层压工艺中，需要长时间维持稳定真空，并处理工艺释放的溶剂蒸气。NeoDry7G在高负荷连续运行条件下真空度保持稳定，实测噪音与能耗均处于较低水平。 无油设计避免了溶剂蒸气与油污混合导致的维护难题。气镇功能可高效抽排可凝性气体，设备空冷散热良好，长时间运行无升温掉压现象。对于电池行业与真空层压等一般工业应用，这款泵提供了高效、省心的洁净真空方案。 同行推荐 48h内响应 易安装 实用性强

Ins_710e1f85

2026-08-07