产品描述
设备主要利用微波测试原理，非接触式测量射频HEMT结构半导体材料的方阻、迁移率及载流子浓度。可实现单点测试，
亦可以实现面扫描的测试功能，具有快速，无损，准确等优势，可用于材料研发及工艺的监测及质量控制。
特点
适用于迁移率量测范围在100cm²/V · s～3000cm²/V · s 的射频HEMT外延片。非接触，非损伤测试，具有测试速度快，
重复性佳，测试敏感性高，可以直接测试产品片等优点。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 3人次培训
免费仪器保养: 6个月1次
保内维修承诺: 免费维修
报修承诺: 4小时相应
